An electrothermal bimorph micromirr

An electrothermal bimorph micromirror with integrated temperature control is presented. The central mirror plate position is controlled against the ambient temperature variation through a thermally-isolated frame with embedded Pt heaters and temperature sensors.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แสดง micromirror bimorph ไฟฟ้าที่ควบคุมอุณหภูมิในตัว ตำแหน่งกลางกระจกแผ่นควบคุมกับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิผ่านเฟรมแยกความร้อนอุ่น Pt ฝังตัวและเซนเซอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

micromirror electrothermal bimorph มีการควบคุมอุณหภูมิแบบบูรณาการที่จะนำเสนอ กลางตำแหน่งแผ่นกระจกจะถูกควบคุมกับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิผ่านกรอบความร้อนแยกกับเครื่องทำความร้อนฝัง Pt และเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มีการศึกษาไบมอร์ฟ micromirror ที่มีการควบคุมอุณหภูมิแบบบูรณาการเสนอ กระจกจานกลาง ตำแหน่งควบคุมกับการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิผ่านแยกได้รับเฟรมกับเครื่อง PT และเซนเซอร์อุณหภูมิแบบฝังตัว