When the first TMA pulse is applied,

When the first TMA pulse is applied, the TMA molecules are adsorbed onto the oxygen atoms and take surface reactions with hydroxyl groups. During the surface reactions, the substrate total surface coverage then becomes hO þhOH þhAlðCH3Þ2 þhAlðCH3Þ ¼1; where hAlðCH3Þ2 and hAlðCH3Þ stand for the surface coverage of the residual intermediate products of TMA. If we assume the surface reactions only take place between the chemisorbed TMA and hydroxyls, the overall governingequationof surfacedynamicsdur- ing TMA pulse can be formulated by,

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เมื่อมีใช้ชีพจร TMA first โมเลกุล TMA adsorbed บนอะตอมออกซิเจน และทำปฏิกิริยาผิวกับกลุ่มไฮดรอกซิล ในระหว่างปฏิกิริยาผิว คลุมผิวรวมพื้นผิวนั้นกลายเป็นโฮ þhOH þhAlðCH3Þ2 þhAlðCH3Þ ¼1 ที่ hAlðCH3Þ2 และ hAlðCH3Þ ยืนสำหรับความครอบคลุมพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ระดับกลางส่วนที่เหลือของ TMA ถ้าเราสมมติว่า ปฏิกิริยาผิวนำระหว่าง chemisorbed TMA และ hydroxyls, governingequationof โดยรวม surfacedynamicsdur-ing TMA ชีพจรสามารถจะถูกกำหนด โดย

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เมื่อ Fi แรก TMA ชีพจรจะใช้โมเลกุล TMA จะถูกดูดซับเข้าสู่อะตอมออกซิเจนและใช้เวลาปฏิกิริยาพื้นผิวกับกลุ่มไฮดรอกซิ ในระหว่างการเกิดปฏิกิริยาพื้นผิวพื้นผิวครอบคลุมพื้นผิวทั้งหมดก็จะกลายเป็น hO þhOHþhAlðCH3Þ2þhAlðCH3Þ¼1; ที่hAlðCH3Þ2และhAlðCH3Þยืนครอบคลุมพื้นผิวของสินค้าขั้นกลางที่เหลือของ TMA ถ้าเราสมมติปฏิกิริยาพื้นผิวเพียงเกิดขึ้นระหว่าง TMA chemisorbed และ hydroxyls, governingequationof โดยรวม surfacedynamicsdur- ไอเอ็นจีชีพจร TMA สามารถกำหนดโดย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เมื่อลูกค้าชีพจรจึงตัดสินใจเดินทางไปก็มีการดูดซับโมเลกุลออกซิเจนและอะตอมใช้ปฏิกิริยาพื้นผิวที่มีกลุ่มไฮดรอก . ปฏิกิริยาระหว่างพื้นผิวพื้นผิวพื้นผิว , รวมครอบคลุมแล้วจะกลายเป็นโฮþ Hoh þฮาลð CH3 Þ 2 þฮาลð CH3 Þ¼ 1 ; ที่ฮาลð CH3 Þ 2 และฮาลð CH3 Þยืนพื้นผิวที่ครอบคลุมของสินค้าขั้นกลางที่ตกค้างของ TMA .ถ้าเราสมมติผิวปฏิกิริยาเท่านั้นเกิดขึ้นระหว่าง chemisorbed ก็ hydroxyls โดยรวม governingequationof surfacedynamicsdur - ing TMA ชีพจรสามารถสูตรโดย