The initial probing system is compo

The initial probing system is composed of a micro-probe and a micro capacitive sensor. Micro probe is attached to the center of floating plate by using epoxy under a microscope. If the micro probe is not attached precisely to the center of floating plate, the structure will be dissymmetrical, alignment error will result in output nonlinearity, and a customized fixture is designed and manufactured with high precision to improve precision. The probing system designed to be used in a CMM in this paper is shown in Fig. 1. And it’s working principle is illustrated in Fig. 2. Due to its symmetrical geometry,

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ระบบ probing เริ่มต้นประกอบด้วยไมโครโพรบและเซนเซอร์ควบคุมไมโคร โพรบขนาดเล็กอยู่กลางน้ำจานโดยใช้อีพ็อกซี่ภายใต้กล้องจุลทรรศน์ ถ้าโพรบไมโครไม่อยู่ตรงกลางแผ่นน้ำ โครงสร้างจะ dissymmetrical จัดตำแหน่งผิดพลาดจะส่งผลให้ผลลัพธ์ nonlinearity และแข่งเองจะออกแบบ และผลิต ด้วยความแม่นยำสูงในการปรับปรุงความแม่นยำ ระบบ probing ที่ออกแบบมาเพื่อใช้ใน CMM ในเอกสารนี้แสดงใน Fig. 1 และเรื่องหลักการทำงานจะแสดงใน Fig. 2 เนื่องจากรูปทรงเรขาคณิตสมมาตร

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ระบบการพิสูจน์ครั้งแรกประกอบด้วยการสอบสวนและไมโครเซ็นเซอร์ capacitive ขนาดเล็ก สอบสวน Micro อยู่ติดกับศูนย์ของแผ่นลอยโดยใช้อีพ็อกซี่ภายใต้กล้องจุลทรรศน์ หากการสอบสวนไมโครไม่ได้แนบอย่างแม่นยำไปยังศูนย์กลางของแผ่นลอยโครงสร้างจะ dissymmetrical ข้อผิดพลาดการจัดตำแหน่งที่จะส่งผลในการส่งออกไม่เป็นเชิงเส้นและปรับแต่งการติดตั้งการออกแบบและผลิตด้วยความแม่นยำสูงในการปรับปรุงความแม่นยำ ระบบแหย่ออกแบบมาเพื่อใช้ใน CMM ในบทความนี้จะแสดงในรูป 1. และมันหลักการทำงานจะแสดงในรูปที่ 2. เนื่องจากเรขาคณิตสมมาตรของตน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การเริ่มต้นระบบประกอบด้วยโพรบไมโครและไมโคร capacitive sensor ไมโครโพรบติดศูนย์ของจานลอยโดยใช้อีพ็อกซี่ภายใต้กล้องจุลทรรศน์ ถ้าเครื่องตรวจไมโครไม่ได้แนบได้อย่างแม่นยำไปยังศูนย์ของจานลอยโครงสร้างจะ dissymmetrical แนวผิดพลาดจะส่งผลในค่าผลผลิตและปรับแต่งโคมถูกออกแบบและผลิตด้วยความแม่นยำสูงเพื่อเพิ่มความแม่นยำ การเจาะระบบที่ออกแบบมาเพื่อใช้ใน CMM ในกระดาษนี้จะแสดงในรูปที่ 1 และเป็นหลักการทำงานจะแสดงในรูปที่ 2 เนื่องจากความสมมาตรเรขาคณิต