A. Transient ESD Measurements We ap

A. Transient ESD Measurements We applied the optical electric-field probe to the transient measurement of the ESD signals transmitting on and around a microstrip line (MSL) as shown in Fig. 3. In the DUT, a 50mm long MSL was patterned on the FR4 wafer with a size of 100 mm x 30 mm and a thickness of 1 mm. An ESD signal were generated with an ESD generator (ESS-2002/ NoiseKen) and input to the DUT via an ESD gun (TC-815R/ NoiseKen). The generated ESD signal was 0.7-ns duration pulse with a peak voltage of 2 kV as shown with a black solid line, which is calibrated by NoiseKen prior to shipment. The ESD signal transmitted on the MSL of the DUT and output directly to an oscilloscope through an electrical cable at the measurement for the time domain waveform of the output signal from the MSL. The output signal of the MSL is deteriorated since its high frequency components are filtered out with the degradation of the electrical connector soldered in the output port on the wafer. The first peak of the output signal decreases comparing with that of the input signal. The output port of the MSL was terminated at the transient measurement with the optical electric-field probe. The optical system for the optical electricfield probe was the same with the evaluation system with the capacitor as described in Sec. 2. The tip of the optical electricfield probe was located at a height of 0.5 mm apart from the surface of the wafer. The measurement points were positioned at a distance of 0, 5, 10 mm along the perpendicular line to the MSL. The time domain waveforms of the electric field on the MSL were provided with a single-shot measurement of the sampling oscilloscope. Fig. 4 shows the time domain waveform of electric field along x axis measured with the optical electric-field probe at a distance of 0(blue line), 5(pink line), and 10(yellow line) from the MSL. At the distance of 0, the time domain waveform of the electric field agrees well with that the input signal. This indicates that the optical electric-field probe can measure the electric field with less deterioration. The electric field is almost zero at a distance of 5 and 10 mm. This indicates that a substrate radiation mode of the electric field along x axis is below the measurement limit of the probe at the side of the MSL above the wafer. From these results, we obtained a lot of transient information about electric field transmitting and radiating above and around the MSL and the wafer, and can effectively utilize them in the diagnosis of the electric circuits damaged with ESD and the design process for defeating an ESD noise.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

A. Transient ESD วัดเราใช้โพรบสนามไฟฟ้าแสงสัญญาณ ESD ที่ส่งบน และ รอบ ๆ สาย microstrip (MSL) ดังแสดงในรูปที่ 3 วัดชั่วคราว ในการบิลพัสดุ์ 50 มม.ยาว MSL เป็นลวดลายบนแผ่น FR4 ขนาด 100 x 30 มม.และมีความหนา 1 มม. เป็นสัญญาณ ESD สร้างขึ้น ด้วยการสร้างเครื่อง ESD (ESS-2002 / NoiseKen) และป้อนข้อมูลของคุณ DUT ผ่านการปืน ESD (TC-815R / NoiseKen) สัญญาณ ESD ถูกชีพจรระยะเวลา 0.7-ns กับแรงดันไฟฟ้าสูงสุด 2 kV ดังแสดง ด้วยสีดำเส้นทึบ ซึ่งถูกตั้ง โดย NoiseKen ก่อนจัดส่ง สัญญาณ ESD ที่ส่งบน MSL บิลพัสดุ์และออกสู่ oscilloscope โดยใช้สายไฟฟ้าที่การวัดสัญญาณโดเมนเวลาของสัญญาณเอาท์พุทจาก MSL สัญญาณขาออกของ MSL เสียหายตั้งแต่ส่วนประกอบความถี่สูงจะถูกกรองออก ด้วยสลายขั้วต่อไฟฟ้าบัดกรีในพอร์ตแสดงผลบนเว ช่วงแรกของสัญญาณเอาท์พุทลดลงเปรียบเทียบกับที่ของสัญญาณอินพุต พอร์ตเอาต์พุตของ MSL ถูกยกเลิกการวัดชั่วคราวพร้อมโพรบวัดสนามไฟฟ้าแสง ระบบแสงสำหรับโพรบ electricfield แสงไม่เหมือนระบบประเมินด้วยตัวเก็บประจุใน 2 วินาที ปลายโพรบ electricfield แสงถูกตั้งอยู่ที่สูงของ 0.5 มม.จากพื้นผิวของแผ่น จุดตรวจวัดที่ตำแหน่งมีระยะห่าง 0, 5, 10 mm.ตามแนวเส้นตั้งฉากกับระดับการ สัญญาณรูปคลื่นสัญญาณโดเมนเวลาของสนามไฟฟ้าในระดับตั้งไว้กับวัดถ่ายภาพเดียวของ oscilloscope สุ่มตัวอย่าง รูปที่ 4 แสดงสัญญาณโดเมนเวลาของสนามไฟฟ้าตามแนวแกนวัด ด้วยหัววัดสนามไฟฟ้าแสงในระยะ 0(blue line), 5(pink line) และ 10(yellow line) จาก MSL ที่ x ที่มีระยะห่าง 0 สัญญาณโดเมนเวลาของสนามไฟฟ้าตกลงกับที่สัญญาณอินพุต บ่งชี้ว่า โพรบสนามไฟฟ้าแสงสามารถวัดสนามไฟฟ้า มีการเสื่อมสภาพน้อยลง สนามไฟฟ้าคือ เกือบเป็นศูนย์ในระยะทาง 5 และ 10 มม. นี้บ่งชี้ว่า โหมดรังสีพื้นผิวของสนามไฟฟ้าตามแนวแกน x ด้านล่างวัดขีดจำกัดของโพรบที่ด้านข้างของ MSL ข้างเวเฟอร์อยู่ จากผลลัพธ์เหล่านี้ เรารับข้อมูลชั่วคราวเกี่ยวกับสนามไฟฟ้าส่ง และแผ่เหนือ และ รอบ ๆ ตัว MSL และเวเฟอร์จำนวนมาก และสามารถได้อย่างมีประสิทธิภาพใช้ในการวินิจฉัยของวงจรไฟฟ้าที่เสียหายกับ ESD และกระบวนการออกแบบสำหรับการเอาชนะเป็นเสียง ESD

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

วัด A. Transient ESD เราใช้การสอบสวนไฟฟ้าสนามแสงเพื่อวัดชั่วคราวของสัญญาณ ESD ส่งสัญญาณและรอบไมโครสาย (MSL) ดังแสดงในรูป 3. ใน DUT เป็น 50mm MSL ยาวลวดลายบน FR4 เวเฟอร์ขนาด 100 มิลลิเมตร x 30 มิลลิเมตรและความหนาของ 1 มิลลิเมตร สัญญาณ ESD ถูกสร้างขึ้นด้วยเครื่องกำเนิดไฟฟ้า ESD (ESS-2002 / NoiseKen) และใส่เพื่อ DUT ผ่านทางปืน ESD (TC-815R / NoiseKen) สัญญาณ ESD สร้างขึ้นเป็น 0.7 NS ระยะเวลาชีพจรกับแรงดันไฟฟ้าสูงสุดของ 2 กิโลโวลต์ที่แสดงด้วยเส้นทึบสีดำซึ่งจะปรับโดย NoiseKen ก่อนการจัดส่ง สัญญาณ ESD ส่งบน MSL ของ DUT และการส่งออกโดยตรงไปยังสโคปผ่านสายไฟฟ้าที่วัดสำหรับรูปแบบของคลื่นโดเมนเวลาของสัญญาณออกจากระดับน้ำทะเลปานกลาง สัญญาณการส่งออกของระดับน้ำทะเลปานกลางเสื่อมโทรมตั้งแต่ส่วนประกอบความถี่สูงจะถูกกรองออกมาพร้อมกับการสลายตัวของขั้วไฟฟ้าที่บัดกรีในพอร์ตออกบนแผ่นเวเฟอร์ จุดสูงสุดครั้งแรกของสัญญาณออกลดลงเมื่อเทียบกับที่ของสัญญาณอินพุต พอร์ตการส่งออกของ MSL ถูกยกเลิกที่วัดชั่วคราวกับการสอบสวนไฟฟ้าสนามออปติคอล ระบบแสงสำหรับการสอบสวน electricfield แสงเป็นเช่นเดียวกันกับระบบการประเมินผลที่มีตัวเก็บประจุที่อธิบายไว้ในวินาที 2. เคล็ดลับของการสอบสวน electricfield แสงตั้งอยู่ที่ความสูง 0.5 มิลลิเมตรนอกเหนือจากพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ที่ จุดวัดอยู่ในตำแหน่งที่ระยะ 0, 5, 10 มมตามแนวตั้งฉากกับ MSL รูปคลื่นโดเมนเวลาของสนามไฟฟ้าบน MSL ถูกให้กับวัดเดียวยิงสโคปสุ่มตัวอย่าง มะเดื่อ. 4 แสดงให้เห็นถึงรูปแบบของคลื่นโดเมนเวลาของสนามไฟฟ้าพร้อมแกน x วัดที่มีการสอบสวนไฟฟ้าสนามออปติคอลที่ระยะ 0 (เส้นสีฟ้า) ที่ 5 (สายสีชมพู) และ 10 (สายสีเหลือง) จากระดับน้ำทะเลปานกลาง ที่ระยะ 0, สัญญาณโดเมนเวลาของสนามไฟฟ้าตกลงที่ดีกับสัญญาณอินพุต นี้แสดงให้เห็นว่าการสอบสวนไฟฟ้าสนามแสงสามารถวัดสนามไฟฟ้าที่มีการเสื่อมสภาพน้อย สนามไฟฟ้าเกือบเป็นศูนย์ที่ระยะทาง 5 และ 10 มม นี้บ่งชี้ว่าโหมดรังสีพื้นผิวของสนามไฟฟ้าตามแนวแกน X คือต่ำกว่าวงเงินที่วัดของการสอบสวนที่ด้านข้างของ MSL ด้านบนเวเฟอร์ที่ จากผลเหล่านี้เราได้รับข้อมูลจำนวนมากชั่วคราวเกี่ยวกับการส่งสนามไฟฟ้าและแผ่เหนือและรอบ ๆ MSL และเวเฟอร์และมีประสิทธิภาพสามารถใช้พวกเขาในการวินิจฉัยของวงจรไฟฟ้าเสียหายกับ ESD และขั้นตอนการออกแบบสำหรับการเอาชนะเสียง ESD .

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

1 . แบบวัดทุ่งแสงที่เราใช้ไขควงไฟฟ้า ตรวจสอบเพื่อวัดชั่วคราวของ ESD สัญญาณถ่ายทอดบน และ รอบ ๆสายไมโครสตริป ( รท ) ดังแสดงในรูปที่ 3 อยู่ในการสั่งซื้อ , 50mm ยาวรทเป็นลวดลายบนแผ่นเวเฟอร์ fr4 ที่มีขนาด 100 มม. x 30 mm ความหนา 1 มิลลิเมตร เป็นสัญญาณที่ถูกสร้างขึ้นด้วยไฟฟ้าสถิต ESD เครื่องกำเนิดไฟฟ้า ( ess-2002 / noiseken ) และใส่ไปในการสั่งซื้อผ่านทางไฟฟ้าสถิต ปืน ( tc-815r / noiseken ) สร้างสัญญาณพัลส์ 0.7-ns ESD ระยะเวลาด้วยแรงดันสูงสุด 2 กิโลที่แสดงด้วยเส้นทึบสีดำ ซึ่งจะปรับโดย noiseken ก่อนการจัดส่ง ESD สัญญาณที่ส่งใน MSL ของในการสั่งซื้อและส่งออกโดยตรงไปยังออสซิลโลสโคปผ่านสายเคเบิลไฟฟ้าในวัดรูปคลื่นของสัญญาณโดเมนเวลา ออก จาก รทก. เอาท์พุทสัญญาณของ MSL เสื่อมสภาพตั้งแต่ของส่วนประกอบความถี่สูงจะถูกกรองออกด้วยการย่อยสลายของไฟฟ้าเชื่อมบัดกรีในพอร์ตออกบนเวเฟอร์ ยอดแรกของสัญญาณออกลดลง เมื่อเทียบกับที่ของสัญญาณ . เอาท์พุทพอร์ตของ MSL ถูกยกเลิกในการวัดแสงไฟฟ้าชั่วคราวกับสนามด้วย ระบบแสงให้แสง electricfield โพรบเป็นแบบเดียวกันกับระบบการประเมินที่มีตัวเก็บประจุตามที่อธิบายไว้ในวินาที 2 . ปลายแสง electricfield สอบสวนอยู่ที่ความสูง 0.5 มม. ห่างจากพื้นผิวของเวเฟอร์ วัดตั้งอยู่ที่ระยะห่างจากจุด ( 0 , 5 , 10 มม. พร้อมสายตั้งฉากกับรทก. เวลาโดเมนรูปคลื่นของสนามไฟฟ้าบนรทมีให้กับวัดนัดเดียวของ ออสซิลโลสโคป . รูปที่ 4 แสดงเวลาโดเมน waveform ของสนามไฟฟ้าตามแกน X กับเขตวัดแสงด้วยไฟฟ้าที่ระยะห่างจาก 0 ( เส้นสีฟ้า ) , 5 ( เส้นสีชมพู ) และ 10 ( เส้นสีเหลือง ) จาก รทก. ที่ระยะห่างจาก 0 เวลาโดเมน waveform ของสนามไฟฟ้า เห็นด้วยกับที่สัญญาณอินพุตได้ นี้บ่งชี้ว่าข้อมูลออปติคอลโพรบวัดไฟฟ้าสนามไฟฟ้ากับเสื่อมน้อย สนามไฟฟ้าเป็นเกือบศูนย์ที่ระยะ 5 และ 10 มม. แสดงว่าสารรังสีโหมดของสนามไฟฟ้าตามแกน X อยู่ด้านล่างขีด จำกัด ของโพรบวัดที่ด้านข้างของ MSL เหนือเวเฟอร์ จากผลที่เราได้รับมากและข้อมูลเกี่ยวกับสนามไฟฟ้าและส่งสัญญาณแผ่กระจายเหนือรอบรทและเวเฟอร์ , และมีประสิทธิภาพสามารถใช้พวกเขาในการวินิจฉัยของวงจรไฟฟ้าเสียหายด้วยไฟฟ้าสถิต และการออกแบบกระบวนการสำหรับการชัย ESD เสียงดัง