In the fields of high-resolution me

In the fields of high-resolution metrology and manufacturing, effective anti-vibration measures are required to obtain precise and repeatable results. This is particularly true when the amplitudes of ambient vibration and the dimensions of the investigated or manufactured structure are comparable, e.g. in sub-micron semiconductor chip production, holographic interferometry, confocal optical imaging, and scanning probe microscopy. In the active anti-vibration system examined, signals are acquired by extremely sensitive vibration detectors, and the vibration is reduced using a feedback controller to drive electrodynamic actuators. This paper deals with the modeling and control of this anti-vibration system. First, a six-degree-of-freedom rigid body model of the system is developed. The unknown parameters of the unloaded system, including actuator transduction constants, spring stiffness, damping, moments of inertia, and the vertical position of the center of mass, are determined by comparing measured transfer functions to those calculated using the updated model. Finally, different strategies for actively controlling the vibration isolation system are considered.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในฟิลด์ของมาตรวิทยาความละเอียดสูงและการผลิต ประสิทธิภาพมาตรการป้องกันการสั่นสะเทือนจะต้องได้รับผลลัพธ์ที่แม่นยำ และทำซ้ำได้ นี้เป็นจริงโดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อช่วงสั่นสะเทือนแวดล้อมและขนาดของโครงสร้างการผลิต หรือตรวจสอบได้เปรียบ เช่นผลิตชิมิคอนดักเตอร์ย่อยไมครอน interferometry โฮโลแกรม โฟคอแสง และการสร้างภาพการสแกนไมโครสโครบ ในระบบป้องกันการสั่นสะเทือนใช้งานที่ตรวจสอบ จะมีรับสัญญาณ โดยอุปกรณ์ตรวจจับแรงสั่นสะเทือนสำคัญมาก และการสั่นสะเทือนลดลงโดยใช้ตัวควบคุมคำติชมขับ electrodynamic actuators กระดาษนี้เกี่ยวข้องกับการสร้างโมเดลและการควบคุมของระบบป้องกันการสั่นสะเทือน ครั้งแรก รุ่นร่างกายแข็งหกองศาความอิสระของระบบถูกพัฒนาขึ้น พารามิเตอร์ที่ไม่รู้จักของระบบการโหลด รวมถึงค่าคงที่คือตัวกระตุ้น ความแข็งสปริง ป้องกันความ ช่วงเวลาที่ความเฉื่อย และแนวของจุดศูนย์ถ่วงของ จะถูกกำหนด โดยการเปรียบเทียบฟังก์ชันโอนย้ายวัดที่คำนวณโดยใช้แบบจำลองปรับปรุง ในที่สุด จะพิจารณากลยุทธ์ต่าง ๆ สำหรับการควบคุมระบบแยกการสั่นสะเทือนอย่างแข็งขัน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในด้านของมาตรวิทยามีความละเอียดสูงและการผลิตมาตรการป้องกันการสั่นสะเทือนที่มีประสิทธิภาพจะต้องได้รับผลลัพธ์ที่แม่นยำและทำซ้ำ นี่คือความจริงโดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อช่วงกว้างของคลื่นของการสั่นสะเทือนโดยรอบและขนาดของโครงสร้างการสอบสวนหรือการผลิตที่มีการเทียบเคียงเช่นในไมครอนผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์, อินเตอร์เฟอโฮโลแกรมถ่ายภาพแสง confocal และสแกนสอบสวนกล้องจุลทรรศน์ ในระบบป้องกันการสั่นสะเทือนที่ใช้งานการตรวจสอบสัญญาณที่ได้มาโดยเครื่องตรวจจับการสั่นสะเทือนที่มีความสำคัญอย่างมากและการสั่นสะเทือนจะลดลงโดยใช้ตัวควบคุมการตอบรับที่จะขับรถตัวกระตุ้น electrodynamic กระดาษนี้เกี่ยวข้องกับการสร้างแบบจำลองและการควบคุมของระบบป้องกันการสั่นสะเทือนนี้ แรกรูปแบบร่างกายหกองศาของเสรีภาพแข็งของระบบได้รับการพัฒนา พารามิเตอร์ที่ไม่รู้จักของระบบการยกเลิกการโหลดรวมทั้งค่าคงที่ตัวกระตุ้นพลังงานในฤดูใบไม้ผลิตึงทำให้หมาด ๆ ช่วงเวลาของความเฉื่อยและตำแหน่งแนวตั้งของศูนย์กลางของมวลจะถูกกำหนดโดยการเปรียบเทียบฟังก์ชั่นการถ่ายโอนไปยังผู้ที่วัดคำนวณโดยใช้รูปแบบการปรับปรุง สุดท้ายกลยุทธ์ที่แตกต่างสำหรับแข็งขันควบคุมระบบแยกการสั่นสะเทือนได้รับการพิจารณา

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในด้านของการวัดความละเอียดสูง และการผลิตที่มีประสิทธิภาพ ป้องกันการสั่นสะเทือน มาตรการจะต้องได้รับผลลัพธ์ที่แม่นยำและทำซ้ำ . นี้เป็นจริงโดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อแรงบิดของการสั่นสะเทือนที่มีมิติของสอบสวนหรือโครงสร้างผลิตจะเปรียบเช่นย่อยไมครอนในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ , Holographic อินเตอร์เฟอโรเมทรี , ถ่ายภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์แสงและกล้องจุลทรรศน์สอบสวน ในงานป้องกันการสั่นสะเทือน ระบบตรวจสัญญาณได้รับโดยเครื่องตรวจจับการสั่นสะเทือน อ่อนไหว และการสั่นสะเทือนที่ลดลง โดยใช้ตัวควบคุมแบบป้อนกลับขับ electrodynamic ตัวกระตุ้น . บทความนี้เกี่ยวข้องกับการสร้างแบบจำลองและการควบคุมของระบบป้องกันการสั่นสะเทือน . ก่อนหกองศาของเสรีภาพร่างกายแข็งระบบพัฒนาคือ พารามิเตอร์ที่ไม่รู้จักของระบบลำเลียง รวมทั้งกระตุ้นผ่านค่าคงที่สปริงตึง , หน่วง , ช่วงเวลาแห่งความเฉื่อยและแนวตั้ง ตำแหน่งของจุดศูนย์กลางมวล ถูกกำหนดโดยการเปรียบเทียบวัดฟังก์ชันถ่ายโอนที่คำนวณโดยใช้การปรับปรุงรุ่น ในที่สุด , กลยุทธ์ที่แตกต่างกันสำหรับงานควบคุมระบบแยกการสั่นสะเทือนจะพิจารณา