Reduction of airborne molecular con

Reduction of airborne molecular contamination on an extreme ultraviolet reticle dual pod using clean dry air purging technology

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ลดการปนเปื้อนที่โมเลกุลอากาศบนฝักสอง reticle มากชึ้ใช้ล้างเทคโนโลยีอากาศสะอาดแห้ง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การลดลงของการปนเปื้อนของโมเลกุลในอากาศบนอัลตราไวโอเลตมากเส้นเล็งฝักคู่โดยใช้เทคโนโลยีสะอาดกวาดล้างอากาศแห้ง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การลดการปนเปื้อนของโมเลกุลอากาศที่รุนแรงรังสีอัลตราไวโอเลต Reticle Dual ฝักใช้สะอาด อากาศแห้งการเทคโนโลยี