Ozone gas sensors on flexible subst

Ozone gas sensors on flexible substrate with Ti/Pt interdigitated electrodes have been fabricated by standard photolithography and femtosecond laser ablation processes under the same conditions. ZnO nanoparticles deposited by drop coating method have been used as sensitive thin film material with 280 nm thickness due to their excellent characteristics on gas detection. The physical properties obtained by both processes have been studied and their critical effects on the gas sensitive response are discussed. It was found that although both samples present small dimensional variations, the samples fabricated by laser ablation shows a bigger sensitive response to ozone at 200 °C. However, both samples have been used as ozone gas sensor and present excellent sensing characteristics, giving good stability, fast response/recovery and excellent range of detection from 5 ppb to 300 ppb.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มีการหลังสร้างเซ็นเซอร์ก๊าซโอโซนบนพื้นผิวมีความยืดหยุ่นกับหุงต interdigitated ตี้/Pt photolithography มาตรฐานและกระบวนการจี้เลเซอร์ femtosecond ภายใต้เงื่อนไขเดียวกัน เก็บกัก ZnO ที่ฝากเงิน โดยวิธีเคลือบปล่อยได้ถูกใช้เป็นวัสดุสำคัญฟิล์มบางกับหนาระดับ 280 nm เนื่องจากลักษณะแห่งการตรวจหาก๊าซ มีการศึกษาคุณสมบัติทางกายภาพได้ทั้งกระบวนการ และผลการตอบสนองไวต่อแก๊สสำคัญกล่าวถึง พบว่า แม้ว่าทั้งสองอย่างแสดงรูปแบบมิติเล็ก ตัวอย่างหลังสร้าง โดยจี้เลเซอร์แสดงการใหญ่สำคัญตอบรับโอโซนที่ 200 องศาเซลเซียส อย่างไรก็ตาม ตัวอย่างทั้งสองมีการใช้เซ็นเซอร์ก๊าซโอโซนและปัจจุบันยอดเยี่ยมตรวจลักษณะ ให้มั่นคงดี ตอบกู้รวดเร็ว และยอดเยี่ยมของการตรวจสอบจาก 5 ppb จะ 300 ppb

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เซ็นเซอร์ก๊าซโอโซนบนพื้นผิวที่มีความยืดหยุ่นกับ Ti / Pt ขั้ว interdigitated ได้รับการประดิษฐ์โดย photolithography มาตรฐานและ femtosecond กระบวนการผ่าตัดเลเซอร์ภายใต้เงื่อนไขเดียวกัน อนุภาคนาโนซิงค์ออกไซด์ฝากโดยวิธีการเคลือบลดลงได้ถูกนำมาใช้เป็นวัสดุฟิล์มบางที่มีความสำคัญที่มีความหนา 280 นาโนเมตรเนื่องจากลักษณะที่ยอดเยี่ยมของพวกเขาในการตรวจจับก๊าซ คุณสมบัติทางกายภาพที่ได้รับจากกระบวนการทั้งสองได้รับการศึกษาและผลกระทบที่สำคัญของพวกเขาในการตอบสนองที่ไวต่อก๊าซที่จะกล่าวถึง พบว่ากลุ่มตัวอย่างถึงแม้ว่าทั้งสองรูปแบบที่นำเสนอมิติขนาดเล็กตัวอย่างประดิษฐ์โดยเลเซอร์นูแสดงให้เห็นถึงการตอบสนองที่มีความสำคัญที่ใหญ่กว่าเพื่อโอโซนที่ 200 องศาเซลเซียส อย่างไรก็ตามกลุ่มตัวอย่างทั้งสองได้ถูกใช้เป็นเซ็นเซอร์ก๊าซโอโซนและปัจจุบันลักษณะการตรวจจับที่ดีเยี่ยมให้เสถียรภาพที่ดีตอบสนองอย่างรวดเร็ว / กู้คืนและช่วงที่ดีของการตรวจสอบจาก 5 ppb 300 ppb

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ก๊าซโอโซนเซ็นเซอร์บนพื้นผิวมีความยืดหยุ่นกับ Ti / PT ไหลของแก๊สขั้วไฟฟ้าถูกประดิษฐ์โดย 43 และเลเซอร์ femtosecond การมาตรฐานกระบวนการภายใต้เงื่อนไขเดียวกัน อนุภาคนาโนซิงค์ออกไซด์ฝากโดยวิธีเคลือบวางได้ถูกใช้เป็นวัสดุฟิล์มบางอ่อนไหวกับ 280 nm หนาเนื่องจากลักษณะที่ยอดเยี่ยมของพวกเขาในการตรวจสอบก๊าซคุณสมบัติทางกายภาพที่ได้จากกระบวนการทั้งสองได้รับการศึกษาและผลที่สำคัญของพวกเขาในก๊าซที่มีการกล่าวถึง . พบว่า ถึงแม้ว่าทั้งสองตัวอย่างรูปแบบมิติขนาดเล็ก ตัวอย่างที่ประดิษฐ์โดยเลเซอร์ การแสดงใหญ่ไวตอบสนองต่อโอโซนที่ 200 องศา อย่างไรก็ตามทั้งสองตัวอย่างถูกใช้เป็นเซนเซอร์ตรวจจับก๊าซโอโซน และปัจจุบันที่ยอดเยี่ยมคุณลักษณะให้เสถียรภาพที่ดีเยี่ยมและตอบสนองอย่างรวดเร็วกู้คืน / ช่วงของการตรวจสอบจาก 5 ppb 300 ไมโครกรัม