5.2. Resolution experimentAs the pr

5.2. Resolution experiment
As the probing system has both trigger and micrometer functions, so its resolution in measurement range is a most important, parameter that determines its probing precision. At the beginning of this experiment the piezoelectric stage is controlled to move to the spherical probing head after trigger point, and then to scan at a preset step, the minimum scanning step that the probing system indication can accurately determine its resolution. The results are shown in Fig. 11.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

5.2 การการทดลองแก้ปัญหาเป็นระบบ probing มีฟังก์ชันทริกเกอร์และไมโครมิเตอร์ ดังนั้นความละเอียดในการวัดระยะเป็นพารามิเตอร์สำคัญ การกำหนดความแม่นยำของ probing ที่จุดเริ่มต้นของการทดลองนี้ ควบคุมระยะการ piezoelectric ย้ายไปหัว probing ทรงกลมหลังจุดทริกเกอร์ แล้ว สแกนในขั้นตอนที่กำหนดไว้ล่วงหน้า การสแกนอย่างน้อยขั้นตอนที่ระบุระบบ probing สามารถกำหนดความละเอียดถูกต้องได้ มีแสดงผลใน Fig. 11

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

5.2 ทดลองความละเอียดในฐานะที่เป็นระบบละเอียดมีทั้งฟังก์ชั่นทริกเกอร์และไมโครเมตรเพื่อให้ความละเอียดของมันในช่วงการวัดเป็นสิ่งที่สำคัญที่สุดพารามิเตอร์ที่กำหนดความแม่นยำละเอียดของ
ที่จุดเริ่มต้นของการทดลองนี้เวที piezoelectric มีการควบคุมที่จะย้ายไปที่หัวกลมละเอียดหลังจากจุดและจากนั้นในการสแกนที่ตั้งไว้ขั้นตอนขั้นตอนการสแกนขั้นต่ำบ่งชี้ว่าระบบละเอียดอย่างถูกต้องสามารถกำหนดความละเอียดของมัน ผลที่จะได้แสดงในรูป 11

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

5.2 . ความละเอียดการทดลอง
เป็นระบบมีทั้งเรียกและไมโครมิเตอร์ ฟังก์ชัน ดังนั้นความละเอียดของช่วงการวัดเป็นสำคัญที่สุด พารามิเตอร์ที่กำหนดความละเอียดแม่นยำ ที่จุดเริ่มต้นของการทดลองนี้ เวที piezoelectric ถูกควบคุมเพื่อย้ายไปยังทรงกลมแหย่หัวหลังจากจุดทริกเกอร์และจากนั้นไปที่ขั้นตอนการสแกนล่วงหน้าอย่างน้อยการสแกนขั้นที่ถูกต้องสามารถตรวจสอบระบบการบ่งชี้ของความละเอียด ผลลัพธ์ที่แสดงในรูปที่ 11 .