The effectiveness of the physical a

The effectiveness of the physical actuation at each stage will be examined first, such as the precision in the wafer carrier movement, the acceleration in the pick up movement, and the operation of valves in pressurization and vacuuming procedures. If no problem is detected, process parameters can be checked, such as the amount of vacuum and its settling time. Further investigation may lead to the examination of the sequential functional execution of the control software and eventually the sequential logic itself. In this manner, the troubleshooting becomes a logical and systematic procedure, stemming from the AD table and matrix.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

จะตรวจสอบประสิทธิภาพของ actuation มีอยู่จริงในแต่ละขั้นแรก ความแม่นยำในการเคลื่อนย้ายขนส่งแผ่นเวเฟอร์ เร่งความเร็วในการรับค่าการเคลื่อนไหว และการทำงานของวาล์วใน pressurization และ vacuuming ขั้นตอน ถ้าไม่มีปัญหา ตรวจพบ ประมวลผลพารามิเตอร์สามารถตรวจสอบ เช่นยอดของสุญญากาศและเวลา settling สอบสวนเพิ่มเติมอาจนำไปสู่การตรวจสอบการทำงานตามลำดับของซอฟต์แวร์ควบคุมและตรรกะลำดับเอง ในลักษณะนี้ การแก้ไขปัญหาเป็น ตรรกะ และระบบกระบวนงาน อันเนื่องมาจาก AD ตารางเมตริกซ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ประสิทธิผลของการดำเนินการทางกายภาพในแต่ละขั้นตอนจะถูกตรวจสอบเป็นครั้งแรกเช่นความแม่นยำในการเคลื่อนไหวให้บริการเวเฟอร์เร่งในการเคลื่อนไหวขึ้นรับและการทำงานของวาล์วในดันและขั้นตอนการดูดฝุ่น หากไม่พบปัญหาใดพารามิเตอร์กระบวนการสามารถตรวจสอบได้เช่นปริมาณของสูญญากาศและเวลานั่งมัน ตรวจสอบต่อไปอาจนำไปสู่​​การตรวจสอบการดำเนินการลำดับการทำงานของซอฟแวร์ควบคุมและในที่สุดก็ตรรกะลำดับตัวเอง ในลักษณะนี้การแก้ไขปัญหาจะกลายเป็นขั้นตอนตรรกะและเป็นระบบที่เกิดจากตาราง AD และเมทริกซ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ประสิทธิผลของการปลุกเร้าร่างกายในแต่ละขั้นตอนจะถูกตรวจสอบก่อน เช่น ความแม่นยําในเวเฟอร์ผู้ให้บริการการเคลื่อนไหวเร่งความเร็วในการรับการเคลื่อนไหว และการดำเนินงานของวาล์วความดันและ vacuuming ขั้นตอน ถ้าไม่พบปัญหาคือ กระบวนการผลิตสามารถตรวจสอบได้ เช่น ปริมาณของสุญญากาศและการเวลาต่อไปอาจมีการตรวจสอบการปฏิบัติหน้าที่ตามลําดับของซอฟต์แวร์ควบคุมและในที่สุดลำดับตรรกะของตัวเอง ในลักษณะนี้ การแก้ไขปัญหาเป็นขั้นตอนตรรกะและเป็นระบบที่เกิดจากโฆษณาและตารางเมทริกซ์