Montgomery has shown how SIMS depth

Montgomery has shown how SIMS depth profiling and focused ion beam imaging may be used to validate super- conducting test structures and to determine inter-diffusion between the layers in a multilayer structure. He used atomic force microscopy to assess the surface and beam induced topography, which were the factors limiting the ultimate resolution that could be attained [37]. Results of a depth profile of an YBCO/SrTiO3/MgO/YIG multi-layer are shown in Fig. 21. The analysis was achieved using a 15 keV oxygen primary ion beam and the layer thick- nesses corrected for their different sputter rates (which were measured in separate experiments). Montgomery also developed techniques for imaging the structure, us- ing the FIB system, and then reconstructing a ‘pseudo depth profile’ from the image data. This is an interest- ing and important approach when the sample is very rough.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มอนท์โกได้แสดงวิธีการสร้างโพรไฟล์ความลึกซิมส์และโฟกัสไอออนคานถ่ายภาพอาจจะใช้ เพื่อตรวจสอบซุปเปอร์ - ทำการทดสอบโครงสร้าง และกำหนดแพร่ระหว่างระหว่างชั้นในเป็นโครงสร้างหลายชั้น เขาใช้แรงอะตอม microscopy เพื่อประเมินพื้นที่ และภูมิประเทศอาจ คานซึ่งมีปัจจัยที่จำกัดการแก้ปัญหาที่ดีที่สุดที่สามารถทำได้ [37] มีแสดงผลของโพรไฟล์ความลึกของการ YBCO/SrTiO3/MgO/YIG หลายชั้นใน Fig. 21 การวิเคราะห์สำเร็จ 15 keV ออกซิเจนไอออนหลักลำและชั้นหนา-nesses สำหรับอัตราของ sputter ต่าง ๆ (ซึ่งถูกวัดในการทดลองแยกต่างหาก) มอนท์โกยังพัฒนาเทคนิคสำหรับภาพโครงสร้าง เรากำลังระบบตอแหล และบูรณะ 'หลอกลึกประวัติ' จากข้อมูลภาพแล้ว อยู่กำลังสนใจและวิธีการสำคัญเมื่อตัวอย่างหยาบมาก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เมอรีได้แสดงให้เห็นว่าโปรไฟล์ SIMS ความลึกและมุ่งเน้นไปที่การถ่ายภาพลำแสงไอออนอาจจะถูกใช้ในการตรวจสอบการดำเนินซุปเปอร์โครงสร้างการทดสอบและตรวจสอบการแพร่กระจายระหว่างระหว่างชั้นในโครงสร้างหลาย เขาใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมเพื่อประเมินพื้นผิวและภูมิประเทศที่เหนี่ยวนำให้เกิดลำแสงซึ่งเป็นปัจจัยที่ จำกัด ความละเอียดสูงสุดที่สามารถบรรลุ [37] ผลการรายละเอียดเชิงลึกของ YBCO / SrTiO3 / MgO / YIG หลายชั้นจะแสดงในรูป 21. การวิเคราะห์ก็ประสบความสำเร็จโดยใช้ลำแสงไอออนหลักออกซิเจนเคฟ 15 และชั้นหนา nesses แก้ไขในราคาที่แตกต่างกันของพวกเขาปะทุ (ซึ่งถูกวัดในการทดลองที่แยกต่างหาก) เมอรียังได้พัฒนาเทคนิคในการถ่ายภาพโครงสร้างนี้ไอเอ็นจีระบบ FIB แล้วฟื้นฟู 'หลอกรายละเอียดเชิงลึกจากข้อมูลภาพ นี่คือไอเอ็นจีดอกเบี้ยและวิธีการที่สำคัญเมื่อตัวอย่างที่ขรุขระมาก

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มอนท์โกเมอรี่ ได้แสดงให้เห็นถึงวิธีการและลักษณะเน้นการถ่ายภาพซิมส์ความลึกคานไอออนอาจจะถูกใช้เพื่อตรวจสอบซูเปอร์ - ทำการทดสอบและตรวจสอบโครงสร้างระหว่างการแพร่กระจายระหว่างชั้นในโครงสร้างหลายชั้น เขาใช้กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมประเมินพื้นผิวและคานและภูมิประเทศ ซึ่งเป็นปัจจัยที่จำกัดสูงสุดความละเอียดที่สามารถบรรลุ [ 37 ]ผลของความลึกโปรไฟล์ของ ybco / srtio3 / MgO / ยิก - แสดงใน 21 มะเดื่อ . ในการวิเคราะห์ได้ใช้ 15 เคฟออกซิเจนหลักลำแสงไอออนและชั้นหนา - nesses แก้ไขสำหรับที่แตกต่างกันของพวกเขามิดหมีอัตรา ( ซึ่งเป็นวัดในการทดลองแยก ) มอนโกเมอรี่ยังพัฒนาเทคนิคการถ่ายภาพโครงสร้าง เรา - ing ระบบคนโกหกแล้วสร้างโปรไฟล์เทียม ' ' ความลึกจากข้อมูลภาพ นี้เป็นดอกเบี้ย - ing และที่สำคัญวิธีการเมื่อตัวอย่างที่หยาบมากๆ