Since the sensor is not accessible

Since the sensor is not accessible for calibration after it is
sealed inside the glass–silicon micropackage, it is important that
it shows little or no drift. A 1200 Å-thick polyimide sensor was
tested at 37 C for 48 h at 50% RH, and re-tested at 37 C
for 48 h at 80% RH; the results from both of these tests are
shown in Fig. 6. The relatively higher drift as seen in Fig. 6
is a known characteristic of polyimide humidity sensors and
agrees well with published results [5]. The maximum drift was
approximately 0.4% RH at 50% RH conditions and was about
11.4% RH at 80% RH conditions.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เนื่องจากการเซ็นเซอร์ไม่เข้าเทียบหลังจากที่มีปิดผนึกภายใน micropackage แก้ว – ซิลิคอน มันเป็นสิ่งสำคัญที่แสดงดริฟท์น้อย หรือไม่มี มีเซนเซอร์ polyimide Å-หนา 1200ทดสอบที่ 37 C สำหรับ h 48 ที่ 50% RH และทดสอบอีกครั้งที่ 37 Cสำหรับ h 48 ที่ 80% RH ผลจากการทดสอบเหล่านี้ทั้งสองแสดง 6 Fig. ดริฟท์ค่อนข้างสูงเท่าที่เห็นใน Fig. 6เป็นลักษณะของ polyimide รู้จักเซนเซอร์ความชื้น และตกลงกับประกาศผล [5] ดริฟท์สูงสุดได้ประมาณ 0.4% RH ที่ 50% RH เงื่อนไข และกำลัง11.4% RH ที่ 80% RH เงื่อนไข

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ตั้งแต่เซ็นเซอร์ไม่สามารถเข้าถึงได้สำหรับการสอบเทียบหลังจากที่มีการปิดผนึกภายใน micropackage แก้วซิลิกอนเป็นสิ่งสำคัญที่จะแสดงดริฟท์น้อยหรือไม่มีเลย 1200 Åหนา ธ เธเธฃเซ็นเซอร์ได้รับการทดสอบที่37 องศาเซลเซียสเป็นเวลา 48 ชั่วโมงที่ 50% RH และใหม่ที่ผ่านการทดสอบที่ 37 องศาเซลเซียสเป็นเวลา48 ชั่วโมงที่ 80% RH; ผลที่ได้จากการทดสอบทั้งสองเหล่านี้จะแสดงในรูป 6. ดริฟท์ที่ค่อนข้างสูงกว่าที่เห็นในรูป 6 เป็นลักษณะที่รู้จักกันของเซ็นเซอร์ความชื้น ธ เธเธฃและเห็นด้วยกับผลการตีพิมพ์[5] ดริฟท์สูงสุดประมาณ 0.4% RH 50% RH เงื่อนไขและเป็นเรื่องเกี่ยวกับ 11.4% RH 80% RH เงื่อนไข

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เนื่องจากเซ็นเซอร์ไม่สามารถเข้าถึงได้สำหรับการสอบเทียบหลังจากที่มัน
ปิดผนึกภายในแก้วซิลิกอน micropackage เป็นสิ่งสำคัญที่
แสดงน้อยหรือไม่มีลอย 1200 •เซ็นเซอร์ polyimide หนาคือ
ทดสอบที่อุณหภูมิ 37 48 H ที่ 50 เปอร์เซ็นต์ และจะทดสอบที่อุณหภูมิ 37 องศาเซลเซียสเป็นเวลา 48 ชั่วโมง
80 เปอร์เซ็นต์ ; ผลลัพธ์ที่ได้จากทั้งจากการทดสอบเหล่านี้
แสดงในรูปที่ 6 ค่อนข้างสูงกว่าที่เห็นในรูปที่ 6
ดริฟท์คือ การรู้จักลักษณะของ polyimide ความชื้นเซ็นเซอร์และเซ็นเซอร์
เห็นด้วยกับการเผยแพร่ผล [ 5 ] ดริฟท์สูงสุด
ประมาณ 0.4 เปอร์เซ็นต์ ที่สภาวะความชื้นสัมพัทธ์ 50% และประมาณ 11.4 เปอร์เซ็นต์ ที่สภาวะความชื้นสัมพัทธ์
80%