The auto mode is decomposed into fi

The auto mode is decomposed into five DPs as shown in Table 4. The auto mode overhead organizes the whole auto mode structure and coordinates four other DPs. The recipe link loads and unloads the recipe, edited and saved by the recipe editor. The user interface handles the interaction between the user and the auto mode. The machine-level interface provides the communication channel between the auto mode and the machine. These three DPs function as the I/O stream of the auto mode. The process steps are the preprogrammed autonomous stages to support the recipe based automatic wafer processing. In conjunction with the process parameters downloaded from a recipe file, the sequential execution of the steps induces the intended physical change of the wafers.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โหมดอัตโนมัติจะย่อยสลายไปเป็น DPs 5 ดังแสดงในตาราง 4 โหมดอัตโนมัติจัดโครงสร้างโหมดอัตโนมัติทั้งค่าใช้จ่าย และประสาน DPs สี่อื่น ๆ ลิงค์สูตรโหลด และ unloads สูตร แก้ไข และบันทึก โดยแก้ไขสูตร อินเทอร์เฟซผู้ใช้จัดการการโต้ตอบระหว่างผู้ใช้และโหมดอัตโนมัติ อินเทอร์เฟซสำหรับเครื่องระดับให้ช่องสื่อสารระหว่างโหมดอัตโนมัติและเครื่อง DPs สามเหล่านี้ทำหน้าที่เป็นกระแสข้อมูลของ I/O ของโหมดอัตโนมัติ ขั้นตอนกระบวนการ preprogrammed ปกครองขั้นสนับสนุนการประมวลผลอัตโนมัติแผ่นเวเฟอร์โดยใช้สูตรได้ ร่วมกับพารามิเตอร์กระบวนการดาวน์โหลดจากไฟล์สูตร การดำเนินการตามลำดับขั้นตอนก่อให้เกิดการเปลี่ยนแปลงทางกายภาพวัตถุประสงค์ของรับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

โหมดอัตโนมัติจะถูกย่อยสลายออกเป็นห้า DPs ดังแสดงในตารางที่ 4 ค่าใช้จ่ายโหมดอัตโนมัติจัดโครงสร้างทั้งโหมดอัตโนมัติและพิกัดอีกสี่ DPs โหลดลิงค์สูตรและ unloads สูตรแก้ไขและบันทึกไว้โดยการแก้ไขสูตร ส่วนติดต่อผู้ใช้จัดการกับการมีปฏิสัมพันธ์ระหว่างผู้ใช้และโหมดอัตโนมัติ อินเตอร์เฟซที่เครื่องระดับมีช่องทางการสื่อสารระหว่างโหมดอัตโนมัติและเครื่อง ทั้งสามฟังก์ชั่น DPs เป็น I / O กระแสของโหมดอัตโนมัติ ขั้นตอนกระบวนการเป็นขั้นตอนอิสระ preprogrammed เพื่อสนับสนุนสูตรที่ใช้ในการประมวลผลอัตโนมัติ wafer ร่วมกับพารามิเตอร์กระบวนการดาวน์โหลดจากไฟล์สูตรการดำเนินการตามลำดับขั้นตอนที่ก่อให้เกิดการเปลี่ยนแปลงทางกายภาพตั้งใจของช็อคโกแลต

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โหมดอัตโนมัติย่อยสลายออกเป็น 5 อัตรา ดังแสดงในตารางที่ 4 โหมดอัตโนมัติและโหมดออโต้ทั้งหมด และจัดโครงสร้างพิกัด DPS สี่อื่น ๆ สูตรลิงค์โหลด และ unloads สูตรแก้ไขและบันทึก โดยสูตรการแก้ไข อินเตอร์เฟซผู้ใช้จัดการปฏิสัมพันธ์ระหว่างผู้ใช้และโหมดอัตโนมัติระดับเครื่องอินเตอร์เฟซให้ช่องทางการสื่อสารระหว่างโหมดอัตโนมัติและเครื่องจักร เหล่านี้สามปกหน้าที่เป็น I / O สตรีมโหมดโดยอัตโนมัติ ขั้นตอนกระบวนการเป็น preprogrammed อิสระขั้นตอนเพื่อสนับสนุนจากเวเฟอร์สูตรการประมวลผลอัตโนมัติ ร่วมกับพารามิเตอร์ของกระบวนการดาวน์โหลดไฟล์จากสูตรการต่อเนื่องของขั้นตอน ทำให้เป้าหมายการเปลี่ยนแปลงทางกายภาพของเวเฟอร์