Another benefit of ICP discharges i

Another benefit of ICP discharges is that they are relatively free of contamination because the electrodes are completely outside the reaction chamber. By contrast, in a capacitively coupled plasma (CCP), the electrodes are often placed inside the reactor and are thus exposed to the plasma and subsequent reactive chemical species.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ประโยชน์ของการปล่อย ICP จะว่า จะค่อนข้างไม่ปนเปื้อน เพราะหุงตอยู่นอกห้องปฏิกิริยาอย่างสมบูรณ์ โดยคมชัด ในพลาสม่าเป็น capacitively coupled (CCP), หุงตมักจะอยู่ภายในระบบ แล้วจึงได้สัมผัสกับพลาสม่าและภายหลังปฏิกิริยาเคมีชนิด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ประโยชน์ของการปล่อย ICP ก็คือว่าพวกเขามีความเป็นอิสระจากการปนเปื้อนเพราะขั้วไฟฟ้าจะสมบูรณ์นอกห้องปฏิกิริยา ในทางตรงกันข้ามในพลาสม่าคู่ capacitively (CCP) ขั้วมักจะอยู่ภายในเครื่องปฏิกรณ์และมีการสัมผัสจึงพลาสม่าและต่อมาสารเคมีชนิดปฏิกิริยา

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ประโยชน์อื่นของการปล่อยความดันที่พวกเขาจะค่อนข้างอิสระของการปนเปื้อน เพราะขั้วไฟฟ้าปฏิกิริยาสมบูรณ์นอกห้อง ในทางตรงกันข้าม , ใน capacitively คู่พลาสมา ( CCP ) , ขั้วไฟฟ้ามักจะอยู่ภายในถังจึงสัมผัสกับพลาสม่าและต่อมาปฏิกิริยาเคมีชนิด