G. Sensor Tests on the Actual Packa

G. Sensor Tests on the Actual Packaging Substrate
Our future aim has been to integrate the RH sensor to the silicon
substrate fabrication process to facilitate assembly procedure
and hence reduce the associated costs and labor. However,
we also expected that the leads (sometimes called feedthroughs)
that connect any elements inside the package to the external
world has specific capacitance and resistance that are associated
with them complicating the measurement of capacitance
especially at the measurement frequency (1 MHz). To further
investigate this, one of the 300-Å-thick relative humidity sensors
(with the highest sensitivity thus minimal intrusion to measurement
due to lead parasitics) was mounted on the silicon substrate
and the two ends of the sensor is wire-bonded to the pads
inside the Glass-silicon package. Then the leads of the sensor
is connected to the PCB board utilizing the feedthrough leads
embedded in the silicon substrate as shown in Fig. 12. This is
the actual testing setup had the sensor been integrated into the
silicon substrate fabrication process. The initial measurements
at 1 MHz was not satisfactory due to dominating parasitics at
this frequency. Hence other frequencies has been utilized as an

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

กรัมทดสอบเซ็นเซอร์บนพื้นผิวบรรจุภัณฑ์จริงเป้าหมายของเราในอนาคตได้รับการ รวมเซ็นเซอร์ RH การซิลิคอนกระบวนการผลิตพื้นผิวเพื่อความสะดวกในกระบวนการแอสเซมบลีและลดต้นทุนที่เกี่ยวข้องและแรงงานดังนั้น อย่างไรก็ตามเรายังคาดหวังที่ลูกค้าเป้าหมาย (บางครั้งเรียกว่า feedthroughs)ที่เชื่อมต่อองค์ประกอบใด ๆ ในแพคเกจที่ภายนอกโลกมีความเฉพาะและความต้านทานที่เกี่ยวข้องด้วยการวัดค่าความจุ complicatingโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการวัดความถี่ (1 MHz) การเพิ่มเติมตรวจสอบ เซนเซอร์ความชื้นสัมพัทธ์ 300-Å-หนานี้(มีความไวสูงสุดจึงน้อยบุกไปวัดเนื่องจากการนำ parasitics) ถูกติดตั้งบนพื้นผิวซิลิคอนปลายทั้งสองของเซนเซอร์เป็นสายพันธะกับแผ่นในแพคเกจแก้วซิลิคอน จากนั้นเป้าหมายของการเซ็นเซอร์เชื่อมต่อกับบอร์ด PCB ที่ใช้เป้าหมาย feedthroughฝังอยู่ในพื้นผิวซิลิคอนดังที่แสดงใน Fig. 12 นี่คือการตั้งค่าการทดสอบจริงมีเซนเซอร์ถูกนำมากระบวนการผลิตพื้นผิวซิลิกอน การประเมินเบื้องต้นที่ 1 MHz ไม่พอเนื่องจากการมีอำนาจเหนือ parasitics ที่ความถี่นี้ ดังนั้น ความถี่อื่น ๆ ได้ถูกใช้เป็นการ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

กรัมทดสอบเซนเซอร์บนพื้นผิวบรรจุภัณฑ์ที่เกิดขึ้นจริงในอนาคตเป้าหมายของเราได้รับการเพื่อบูรณาการเซ็นเซอร์ RH กับซิลิกอนสารตั้งต้นในกระบวนการผลิตเพื่ออำนวยความสะดวกขั้นตอนการประกอบและด้วยเหตุนี้ลดค่าใช้จ่ายที่เกี่ยวข้องและแรงงาน อย่างไรก็ตามเรายังคาดว่าโอกาสในการขาย (บางครั้งเรียกว่า feedthroughs) ที่เชื่อมต่อองค์ประกอบใด ๆ ภายในแพคเกจเพื่อภายนอกโลกมีความจุที่เฉพาะเจาะจงและความต้านทานที่เกี่ยวข้องกับพวกเขาแทรกซ้อนการวัดความจุโดยเฉพาะอย่างยิ่งที่ความถี่การวัด(1 MHz) เพื่อเป็นการตรวจสอบเรื่องนี้เป็นหนึ่งในเซ็นเซอร์ความชื้น 300-A-หนาญาติ (ที่มีความไวสูงที่สุดการบุกรุกน้อยที่สุดทำให้การวัดเนื่องจากจะนำไปสู่ ​​parasitics) ได้รับการติดตั้งบนพื้นผิวซิลิกอนและปลายทั้งสองข้างของเซ็นเซอร์เป็นถูกผูกมัดสายไปแผ่นภายในกระจกแพคเกจซิลิกอน จากนั้นนำไปสู่ของเซ็นเซอร์มีการเชื่อมต่อไปยังคณะกรรมการแผ่น PCB ใช้นำไปสู่ ​​feedthrough ฝังอยู่ในพื้นผิวซิลิกอนดังแสดงในรูป 12. นี้การติดตั้งการทดสอบที่เกิดขึ้นจริงได้เซ็นเซอร์รับการรวมเข้ากับพื้นผิวซิลิกอนขั้นตอนการผลิต การวัดเริ่มต้นวันที่ 1 MHz ไม่ได้เป็นที่น่าพอใจเนื่องจากการมีอำนาจเหนือ parasitics ที่ความถี่นี้ ดังนั้นความถี่อื่น ๆ ที่ถูกนำมาใช้เป็น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

จี เซ็นเซอร์การทดสอบบนพื้นผิวบรรจุภัณฑ์จริง
เป้าหมายในอนาคตของเราได้รับการบูรณาการใช้เซ็นเซอร์ซิลิคอนตั้งต้นสร้างกระบวนการเพื่อความสะดวก

ขั้นตอนการประกอบและจึงลดต้นทุนเกี่ยวข้องกับแรงงาน อย่างไรก็ตาม เราคาดว่านัก

( บางครั้งเรียกว่า feedthroughs ) ที่เชื่อมต่อใด ๆ องค์ประกอบภายในแพคเกจการภายนอก
โลกนี้มีเฉพาะความจุ และความต้านทานที่เกี่ยวข้อง
กับพวกเขานำการวัดความจุ
โดยเฉพาะในการวัดความถี่ 1 MHz ) เพื่อเพิ่มเติม
ศึกษานี้ เป็นหนึ่งใน 300 - • - หนาความชื้นเซ็นเซอร์
( ที่มีความไวสูงสุดจึงน้อยที่สุดการบุกรุกเพื่อการวัด
เนื่องจากนำ parasitics ) ถูกติดตั้งบนซิลิคอน
และปลายทั้งสองของเซนเซอร์ลวดผูกมัด pads
ภายในแก้วซิลิคอน แพคเกจ แล้วนำของเซ็นเซอร์
เชื่อมต่อกับคณะกรรมการ PCB ใช้ feedthrough นัก
ฝังตัวอยู่ในซิลิคอนดังแสดงในรูปที่ 12 นี้คือการตั้งค่าการทดสอบจริง
มีเซ็นเซอร์ถูกรวมเข้า
ซิลิคอนผลิตกระบวนการผลิต
การวัดครั้งแรกที่ 1 MHz ไม่น่าพอใจ เนื่องจากมี parasitics ที่
ความถี่นี้ ดังนั้นความถี่อื่น ๆได้ถูกใช้เป็น