4. ConclusionNano-composite HSS-TiN

4. Conclusion
Nano-composite HSS-TiN films have been energetically deposited from a HSS/Ti cathode with microstructure depending on both the energy of the depositing flux (controlled by substrate bias) and the substrate temperature. With a bias of − 25 V at RT, a fine nanocrystalline microstructure was produced. An increase in preferred orientation of the FCC TiN phase was observed in films deposited at RT with elevated substrate biases. Elevated temperature in the absence of bias promoted the formation of an oriented BCC Fe phase. The mechanical properties (hardness, effective elastic modulus and elastic recovery) of the HSS-TiN thin films were improved with moderate substrate bias (~− 200 V) and high substrate temperature (> 250 °C). With properties that can be tuned by bias and/or temperature, energetically deposited HSS-TiN films may be suitable for application within functionally graded coatings, enabling better property matching between HSS tools and TiN coatings.

Acknowledgements
The authors gratefully acknowledge the financial support from the Australian Research Council (ARC) project number LP0776931.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

4. บทสรุปฟิล์มนาโนคอมโพสิต HSS ดีบุกมีฝากพลังจากแคโทดเป็น HSS/Ti ด้วยจุลภาคขึ้นอยู่กับพลังงานของฟลักซ์ฝาก (ควบคุม โดยพื้นผิวอคติ) และอุณหภูมิพื้นผิวทั้งสอง โครงสร้างจุลภาค nanocrystalline ดีถูกผลิตขึ้น ด้วยอคติของ− 25 V ที่ RT เพิ่มขึ้นในแนวที่ต้องการของเฟส FCC ดีบุกพบว่า ในภาพยนตร์ฝากไว้ที่ RT กับอคติยกระดับพื้นผิว อุณหภูมิสูงในกรณีที่ไม่มีอคติเป็นการส่งเสริมการก่อตัวของเฟสเฟสำเนาลับถึงการมุ่งเน้น คุณสมบัติทางกล (ความแข็ง โมดูลัสยืดหยุ่นที่มีประสิทธิภาพ และยืดหยุ่นการกู้คืน) ฟิล์มบางของดีบุก HSS ถูกพัฒนาขึ้น ด้วยอคติพื้นผิวปานกลาง (~ 200 V −) และอุณหภูมิพื้นผิวสูง (> 250 ° C) มีคุณสมบัติที่สามารถปรับอุณหภูมิหรืออคติ ฝากพลัง HSS ทินฟิล์มอาจจะเหมาะสำหรับงานภายในการจัดระดับตามหน้าที่เคลือบ การเปิดใช้งานคุณสมบัติที่ดีกว่าการจับคู่ระหว่างเครื่องมือ HSS และเคลือบดีบุกถาม-ตอบผู้เขียนรู้สึกขอบคุณรับทราบการสนับสนุนทางการเงินจากสภาวิจัยออสเตรเลีย (ARC) โครงการหมายเลข LP0776931

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

4. สรุป
นาโนคอมโพสิตหนังไฮสปีดดีบุกได้รับการฝากขะมักเขม้นจากแคโทดไฮสปีด / Ti กับจุลภาคขึ้นอยู่กับทั้งพลังงานของฟลักซ์ฝาก (ควบคุมโดยตั้งต้นอคติ) และอุณหภูมิพื้นผิว ด้วยอคติของ - 25 V ที่ RT, จุลภาค nanocrystalline ดีถูกผลิต เพิ่มขึ้นในทิศทางที่ต้องการของเฟส FCC TiN ก็สังเกตเห็นในภาพยนตร์ฝาก RT ด้วยอคติพื้นผิวสูง อุณหภูมิสูงในกรณีที่ไม่มีอคติการเลื่อนตำแหน่งการก่อตัวของเชิงเฟส BCC เฟ คุณสมบัติทางกล (ความแข็งโมดูลัสยืดหยุ่นที่มีประสิทธิภาพและการกู้คืนความยืดหยุ่น) ของฟิล์มบางดีบุกไฮสปีดได้รับการปรับปรุงด้วยอคติปานกลางสารตั้งต้น (~ - 200 V) และอุณหภูมิพื้นผิวสูง (> 250 ° C) ที่มีคุณสมบัติที่สามารถปรับโดยอคติและ / หรืออุณหภูมิฝากขะมักเขม้นหนังไฮสปีดดีบุกอาจจะเหมาะสำหรับการใช้งานภายในเคลือบให้คะแนนการทำงานที่ช่วยให้การจับคู่สถานที่ให้บริการที่ดีระหว่างเครื่องมือไฮสปีดและเคลือบ TiN. คำนิยมผู้เขียนรู้สึกขอบคุณรับทราบการสนับสนุนทางการเงินจาก สภาวิจัยแห่งออสเตรเลีย (ARC) โครงการจำนวน LP0776931

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

4 . สรุปนาโนคอมโพสิต HSS ดีบุกฟิล์มได้ปร๋อฝากจาก HSS / Ti แคโทดที่มีโครงสร้างขึ้นอยู่กับทั้งสองพลังงานของการฝากฟลักซ์ ( ควบคุมโดย ( อคติ ) และพื้นผิว อุณหภูมิ กับอคติของ− 25 V ที่ RT , โครงสร้างจุลภาค nanocrystalline ก็ได้ถูกผลิต เพิ่มขึ้นในทิศทางที่ต้องการของ FCC ดีบุกระยะพบว่าภาพยนตร์ที่ฝากไว้ที่ RT กับการยกระดับพื้นผิว biases อุณหภูมิสูงในการส่งเสริมการก่อตัวของอคติแบบ BCC Fe เฟส สมบัติเชิงกล ( ความแข็งค่าโมดูลัสแบบยืดหยุ่นและมีประสิทธิภาพการกู้คืน ) ของฟิล์มบางดีบุกไฮสปีดได้ปรับปรุงพื้นผิวด้วยอคติปานกลาง ( ~ 200 V − ) และมีอุณหภูมิพื้นผิว ( > 250 ° C ) ด้วยคุณสมบัติที่สามารถปรับด้วยอคติ และ / หรือ อุณหภูมิ กระฉับกระเฉงฝาก HSS ดีบุกฟิล์มอาจจะเหมาะสำหรับใช้ภายในการทำงานให้เคลือบให้ขึ้นคุณสมบัติการจับคู่ระหว่างเครื่องมือไฮสปีดและเคลือบดีบุกกิตติกรรมประกาศผู้เขียนมีความยินดียอมรับเงินสนับสนุนจากสภาการวิจัยออสเตรเลีย ( ARC ) lp0776931 หมายเลขโครงการ