In some cases, damage caused by spu

In some cases, damage caused by sputtering was observed. The
dome-like structure at the edge of the sputtered area was
confirmed to be hard by touching its surface with the needle. The
dome-like structure was broken but there was no scale bouncing off
to other areas. Therefore, it was named a “bubble” due to its shape
and soft surface. Fig. 3(c) shows the SEM image for Si bubbles and
blisters at the edge of the sputtered area using the 2.5 sccm GFR
condition after a Td of 10 s. The bubble diameter size ranges from
0.05 to 5 mm in diameter. From the literature review, the bubble is
formed due to knock-in of Ar gas molecules during bombardment
[9]. If the bubble has a large of internal pressure, the bubble will
deform and rupture [10]. However, in our system, total ion energy is
lower than 1 keV which is too low to cause ion implantation

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในบางกรณี ถูกตรวจสอบความเสียหายที่เกิดจากการพ่น ที่มีโครงสร้างคล้ายโดมที่ขอบของพื้นที่ sputteredยืนยันให้แข็ง โดยการสัมผัสของพื้นผิวกับเข็ม ที่โครงสร้างโดมเหมือนถูกตัดขาด แต่มีขนาดไม่ใหญ่ปิดไปยังพื้นที่อื่น ๆ ดังนั้น มันมีชื่อว่า "ฟอง" เนื่องจากรูปร่างของและผิวนุ่ม Fig. 3(c) แสดงภาพ SEM สำหรับซีฟอง และแผลที่ขอบของพื้นที่ sputtered ใช้ 2.5 sccm GFRเงื่อนไขหลังจาก Td 10 s ช่วงขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางฟองจาก0.05-5 มม.เส้นผ่านศูนย์กลาง จากการทบทวนวรรณกรรม เป็นฟองเกิดจากการเคาะในของโมเลกุลแก๊ส Ar ระหว่างระดมยิง[9] . ถ้าฟองมีขนาดใหญ่ของความดันภายใน ฟองจะเบี้ยว และแตก [10] อย่างไรก็ตาม ในระบบของเรา ไอออนรวมพลังงานเป็นต่ำกว่า 1 keV ซึ่งต่ำเกินไปจะก่อให้เกิดไอออนฤทธิ์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในบางกรณีความเสียหายที่เกิดจากการสปัตเตอร์เป็นที่สังเกต
โครงสร้างโดมเหมือนที่ขอบของพื้นที่ sputtered ได้รับการ
ยืนยันที่จะเป็นเรื่องยากโดยการสัมผัสพื้นผิวของมันด้วยเข็ม
โครงสร้างโดมเหมือนถูกทำลาย แต่มีขนาดใหญ่ปิดไม่
ยังพื้นที่อื่น ๆ ดังนั้นจึงได้ชื่อว่า "ฟอง" เนื่องจากรูปร่างของมัน
และผิวนุ่ม มะเดื่อ 3 (c) แสดงให้เห็นภาพ SEM ฟองศรีและ
แผลที่ขอบของพื้นที่ sputtered ใช้ 2.5 SCCM GFR
สภาพหลังจาก Td ของ 10 วินาที ช่วงขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางฟองจาก
0.05 ถึง 5 มม จากการทบทวนวรรณกรรมฟองจะ
เกิดขึ้นเนื่องจากการเคาะใน Ar ของโมเลกุลของก๊าซในระหว่างการโจมตี
[9] ถ้าฟองมีขนาดใหญ่ของความดันภายในฟองจะ
ทำให้เสียโฉมและแตก [10] แต่ในระบบของเราพลังงานไอออนรวม
ต่ำกว่า 1 เคฟซึ่งอยู่ในระดับต่ำเกินไปที่จะก่อให้เกิดการฝังไอออน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในบางกรณีความเสียหายที่เกิดจากการสปัตเตอร์ที่ถูกสังเกต
โดมเช่นโครงสร้างที่ขอบของ sputtered พื้นที่
ยืนยันยากสัมผัสผิวด้วยเข็ม
โดมเหมือนโครงสร้างเสียแต่ไม่มีขนาดใหญ่
ไปยังพื้นที่อื่น ๆ ดังนั้น จึงได้ชื่อว่า " ฟอง " เนื่องจากรูปร่าง
และพื้นผิวที่อ่อนนุ่ม รูปที่ 3 ( C ) จะแสดงภาพ SEM สำหรับฟองศรีและ
แผลที่ขอบของพื้นที่ใช้อัตรา 2.5 sccm sputtered
สภาพหลังจาก TD 10 . ฟองเส้นผ่าศูนย์กลางช่วงขนาดจาก
0.05 5 มม. จากการทบทวนวรรณกรรม , ฟอง
เกิดขึ้นเนื่องจากในโมเลกุลของก๊าซ AR เคาะในระหว่างการโจมตี
[ 9 ] ถ้าฟองมีขนาดใหญ่ของความดันภายใน ฟองจะ
การแตกและ [ 10 ] อย่างไรก็ตาม ในระบบของเราพลังงานไอออนรวม
ต่ำกว่า 1 เคฟซึ่งต่ำเกินไปทำให้ฝังไอออน