At low pressure (1.3 Pa) and 20W RF

At low pressure (1.3 Pa) and 20W RF power,
the ion energy and ion flux were about 23 eV
(Te4:5 eV) and 0.61015m
3 for argon gas
discharge, respectively [13].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ที่ความดันต่ำ (1.3 ป่า) และใช้ พลังงาน RF 20Wพลังงานไอออนและไอออนไหลได้ประมาณ 23 eV(Te 4:5 eV) และ 0.6 1015m 3 สำหรับแก๊สอาร์กอนถ่าย ตามลำดับ [13]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ที่ความดันต่ำ (1.3 ต่อปี) และ 20W พลังงาน RF,
พลังงานไอออนและไอออนฟลักซ์ประมาณ 23 eV
(Te 4: 5 eV)? และ 0.6 1015m 3
สำหรับก๊าซอาร์กอนปล่อยตามลำดับ[13]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ที่ความดันต่ำ ( 1.3 PA ) และเครื่อง RF พลังงานไอออนไอออนพลังงาน
และฟลักซ์ประมาณ 23 EV
( Te  4 : 5 EV ) และ 0.6  1015m
3
จำหน่ายอาร์กอนตามลำดับ [ 13 ]