Previously published results on pla

Previously published results on plasma treatment of semi-noble metal surfaces [2] or Cu [1] have suggested the plasma-induced transformation of predominantly sp3C (binding energy ∼285 eV [5]) to either sp2 or carbidic carbon (binding energies of ∼284.5 eV or near 283 eV, respectively), but this issue—including the resistance of the transformed layer to further plasma-induced carbon removal—has not been specifically addressed. The findings presented here indicate that plasma-induced transformation of C is observed for Co and Cu metal surfaces under a variety of plasma chemistries and conditions. These findings indicate that plasma-induced transformation of sp3C to graphite or carbidic carbon is specific to metallic surfaces, and that upon transformation, these layers are extremely resistant to further removal by non-oxidizing plasma treatment. The presence of such residual layers can be problematic for many applications, including subsequent metallization [4].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ผลเผยแพร่ก่อนหน้านี้บนรักษาพลาโนเบิลกึ่งโลหะพื้นผิว [2] หรือ Cu [1] ได้แนะนำการเปลี่ยนแปลงเหนี่ยวนำให้เกิดพลาสมาของ sp3C ส่วนใหญ่ (รวมพลังงาน eV ∼285 [5]) sp2 หรือคาร์บอน carbidic (พลังงานรวมของ ∼284.5 eV หรือใกล้ กับ 283 eV ตามลำดับ), แต่ปัญหานี้ — รวมทั้งความต้านทานของชั้นของการแปรรูปการกำจัดการเกิดพลาคาร์บอน — ได้ไม่ถูกโดยเฉพาะส่ง ผลการวิจัยที่นำเสนอที่นี่บ่งชี้ว่า พลาสม่าที่เกิดการเปลี่ยนแปลงของ C เป็นที่สังเกตสำหรับพื้นผิวโลหะ Co และ Cu ภายใต้เงื่อนไขและเคมีพลาสมา ค้นพบเหล่านี้บ่งชี้ว่า พลาสม่าที่เกิดการเปลี่ยนแปลงของ sp3C แกรไฟต์หรือคาร์บอน carbidic ไม่เฉพาะพื้นผิวโลหะ และว่า เมื่อการเปลี่ยนแปลง ชั้นเหล่านี้มีความทนทานมากเพื่อกำจัดต่อไปโดยการออกซิไดซ์ไม่ใช่พลาสม่ารักษา การปรากฏตัวของชั้นดังกล่าวตกค้างอาจจะเป็นปัญหาสำหรับการใช้งานหลาย รวมทั้งการ metallization [4]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ผลการเผยแพร่ก่อนหน้านี้เกี่ยวกับการรักษาพลาสม่าของพื้นผิวโลหะกึ่งโนเบิล [2] หรือลูกบาศ์ก [1] ได้ชี้ให้เห็นถึงการเปลี่ยนแปลงที่เกิดขึ้นพลาสม่าของพลังงานส่วนใหญ่ sp3C (ปกพลังงาน ~285 eV [5]) ทั้ง SP2 หรือคาร์บอน carbidic (ผูกพัน ~284.5 eV หรือใกล้ 283 eV ตามลำดับ) แต่ปัญหานี้รวมถึงความต้านทานของชั้นที่เปลี่ยนเป็นต่อพลาสม่าที่เกิดกำจัดคาร์บอนได้ไม่ได้รับเฉพาะจ่าหน้า ผลการวิจัยที่นำเสนอนี้แสดงให้เห็นว่าการเปลี่ยนแปลงที่เกิดขึ้นพลาสม่าซีเป็นที่สังเกตสำหรับ CO และทองแดงผิวโลหะภายใต้ความหลากหลายของเคมีพลาสม่าและเงื่อนไข การค้นพบนี้แสดงให้เห็นว่าการเปลี่ยนแปลงที่เกิดขึ้นพลาสม่าของ sp3C แกรไฟต์หรือคาร์บอน carbidic เป็นเฉพาะกับพื้นผิวโลหะและว่าเมื่อการเปลี่ยนแปลงชั้นเหล่านี้มีความทนทานมากที่จะกำจัดต่อไปโดยที่ไม่ได้ออกซิไดซ์รักษาพลาสม่า การปรากฏตัวของชั้นที่เหลือดังกล่าวอาจจะเป็นปัญหาสำหรับการใช้งานจำนวนมากรวมทั้ง metallization ต่อมา [4]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เคยตีพิมพ์ผลในการรักษาพลาสมาของโลหะกึ่งขุนนางพื้นผิว [ 2 ] หรือลบ [ 1 ] ได้แนะนำพลาสมาเหนี่ยวนำการเปลี่ยนแปลงของเด่น sp3c ( พลังงานผูกพัน∼ 285 EV [ 5 ] ) เพื่อให้ SP2 หรือ carbidic คาร์บอน ( ผูกพลังของ∼ 284.5 EV หรือใกล้ 283 EV ตามลำดับ ) แต่ปัญหานี้รวมถึง ความต้านทานของชั้นต่อไปและเปลี่ยนพลาสมาการกำจัดคาร์บอนได้โดยเฉพาะการแก้ไข ข้อมูลที่นำเสนอนี้ บ่งชี้ว่า การเปลี่ยนแปลงของพลาสมาและซีเป็นสังเกตสำหรับ Co และพื้นผิวโลหะทองแดงภายใต้หลากหลาย chemistries เลือดและเงื่อนไข จากผลการวิจัยแสดงให้เห็นว่าการเปลี่ยนแปลงของพลาสมา sp3c เพื่อ carbidic คาร์บอนกราไฟท์หรือเฉพาะพื้นผิวโลหะ และเมื่อการเปลี่ยนแปลงชั้นเหล่านี้มีมากทนต่อเพิ่มเติมในโนนออกซิไดซ์และการรักษา เช่นการปรากฏตัวของที่เหลือชั้นสามารถเป็นปัญหาสำหรับหลายงาน รวมทั้งงานที่ตามมา [ 4 ]