TF-SOFC were produced starting from

TF-SOFC were produced starting from double-side polished
(100) silicon wafers coated with 200 nm of low-stress silicon
nitride. Free-standing silicon nitride square membranes arrays

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

รหัส SOFC ผลิตเริ่มจากรับซิลิคอน polished
(100) สองด้านเคลือบ ด้วย 200 nm ซิลิคอนต่ำเครียด
nitride อาร์เรย์ตารางสาร nitride ซิลิคอนยืนฟรี

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

TF-SOFC ได้รับการผลิตที่เริ่มต้นจากสองด้านขัด
เวเฟอร์ (100) ซิลิกอนที่เคลือบด้วย 200 นาโนเมตรต่ำความเครียดซิลิกอน
ไนไตรด์ ยืนฟรีซิลิคอนไนไตรด์อาร์เรย์เยื่อตาราง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

tf-sofc ถูกผลิตเริ่มจากคู่ด้านขัด
( 100 ) ซิลิคอนเวเฟอร์เคลือบด้วย 200 nm ของซิลิคอนไนไตรด์
ความเครียดต่ำ ซิลิคอนไนไตรด์เมมเบรนอาร์เรย์ตารางฟรียืนอยู่