MicroElectroMechanical Systems (MEM

MicroElectroMechanical Systems (MEMS) are the
integration of mechanical elements, sensors, actuators and
electronics on a common substrate using integrated circuit
process sequences [1-6, 9-17]. The electronics are fabricated
using standard IC processing, micromechanical components
are fabricated using compatible ‘micromachining’ processes
that can selectively etch parts of the substrate, or add sections
on to the top surface, leaving free standing structures. A large
market already exists for micromachined sensors. In this case
the microelectronic integrated circuits can be thought of as the
brain of the system and micromechanical section as the ‘arms’
and ‘eyes’ of the system, sensing thermal, biological,
chemical, optical and magnetic phenomena in the
environment. The evolving nature of MEMS means that new
applications are continually being reported. In recent years,
RF and millimetre-wave MEMS have emerged from sensor
based technology, they use the same fabrication techniques
and have become an area of significant interest. MEMS based
RF circuits could have a large impact on handset applications,
because of their inherent small size and good electrical
performance

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

MicroElectroMechanical ระบบ (MEMS) มีการรวมขององค์ประกอบเครื่องจักร เซนเซอร์ หัวขับ และอิเล็กทรอนิกส์บนพื้นผิวทั่วไปที่ใช้วงจรรวมลำดับกระบวนการ [1-6, 9-17] อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ fabricatedใช้มาตรฐาน IC ประมวลผล ส่วนประกอบ micromechanicalหลังสร้างโดยใช้กระบวนการเข้ากันได้ 'micromachining'ซึ่งสามารถเลือกที่จะกัดชิ้นส่วนของพื้นผิว การเพิ่มส่วนระบบพื้นผิวด้านบน ออกจากโครงสร้างพร้อม ขนาดใหญ่ตลาดอยู่แล้วสำหรับเซนเซอร์ micromachined ในกรณีนี้วงจรรวม microelectronic สามารถถือได้ว่า เป็นการสมองส่วนระบบและ micromechanical เป็น 'แผ่นดิน'และ 'สายตา' ของระบบ ตรวจวัดความร้อน ชีวภาพปรากฏการณ์ทางเคมี แสง และแม่เหล็กในการสภาพแวดล้อม ลักษณะการพัฒนา MEMS หมายความ ว่า ใหม่ใช้งานได้อย่างต่อเนื่องกำลังรายงาน ในปีที่ผ่านมาMEMS RF และคลื่นมิลลิเมตรได้เกิดจากเซนเซอร์ใช้เทคโนโลยี พวกเขาใช้เทคนิคการผลิตเดียวกันและได้กลายเป็นพื้นที่น่าสนใจที่สำคัญ MEMS ที่ใช้วงจร RF อาจมีผลต่อขนาดใหญ่ใช้งานโทรศัพท์มือถือขนาดเล็กโดยธรรมชาติและไฟฟ้าที่ดีของพวกเขาประสิทธิภาพการทำงาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ระบบจุลภาค (MEMS) เป็นการบูรณาการองค์ประกอบกลเซ็นเซอร์ตัวกระตุ้นและอิเล็กทรอนิกส์บนพื้นผิวที่พบบ่อยโดยใช้วงจรรวมลำดับขั้นตอน[1-6, 9-17] อิเล็กทรอนิกส์จะถูกประดิษฐ์โดยใช้การประมวลผล IC มาตรฐานชิ้นส่วนจิ๋วจะประดิษฐ์โดยใช้งานร่วมกันได้'ไมโครกระบวนการที่สามารถเลือกที่จะกัดชิ้นส่วนของพื้นผิวหรือเพิ่มส่วนบนกับพื้นผิวด้านบนออกจากโครงสร้างยืนฟรี ที่มีขนาดใหญ่ในตลาดอยู่แล้วสำหรับเซ็นเซอร์ micromachined ในกรณีนี้วงจรไมโครอิเล็กทรอนิกส์แบบบูรณาการอาจจะคิดว่าเป็นสมองของระบบและส่วนจิ๋วเป็น'อาวุธ' และ 'ตา' ของระบบตรวจจับความร้อนชีวภาพเคมีแสงและปรากฏการณ์แม่เหล็กในสภาพแวดล้อม ลักษณะการพัฒนาของเมมส์หมายความว่าใหม่การใช้งานที่มีอย่างต่อเนื่องการรายงาน ในปีที่ผ่านRF และ MEMS คลื่นมิลลิเมตรได้โผล่ออกมาจากเซ็นเซอร์เทคโนโลยีที่พวกเขาใช้เทคนิคการผลิตเดียวกันและได้กลายเป็นพื้นที่ที่น่าสนใจอย่างมีนัยสำคัญ เมมส์ตามวงจร RF อาจมีผลกระทบอย่างมากต่อการใช้งานโทรศัพท์มือถือเพราะขนาดที่เล็กของพวกเขาโดยธรรมชาติและไฟฟ้าที่ดีประสิทธิภาพ