F. Response Dependence on Measureme

F. Response Dependence on Measurement Frequency
All previous measurements have been performed at a frequency
of 1 MHz at the nominal measurement frequency of the
Capacitance Meter (HP4280A). In order to determine the dependence
of the response of the sensor on the frequency at which
device capacitance is measured, a 660-Å-thick device has been
tested at three test frequencies (i.e., 1.1 KHz, 10 KHz and 100
KHz), and the results are illustrated in Fig. 11. Note that the response
at each frequency is linear, and the capacitance decreases
with increasing frequency. At 45% RH, the capacitance is 5.6%
lower at 100 KHz than at 1.1 KHz. These tests are conducted
to show that the sensor output is linear independent of the measurement
frequency and one can utilize lower frequencies than
1 MHz if needed.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เอฟตอบสนองการพึ่งพาการวัดความถี่ทั้งหมดวัดก่อนหน้านี้ได้รับการดำเนินการที่ความถี่1 MHz ความถี่ที่วัดชื่อของเครื่องวัดความจุ(HP4280A) เพื่อตรวจสอบการพึ่งพาของการตอบสนองของเซ็นเซอร์ในความถี่ที่ที่ความจุอุปกรณ์วัดอุปกรณ์660-A-หนาได้รับการทดสอบที่สามความถี่ทดสอบ (เช่น 1.1 KHz, 10 KHz และ 100 KHz) และ ผลลัพธ์ที่ได้จะแสดงในรูปที่ 11. โปรดทราบว่าการตอบสนองที่ความถี่แต่ละเส้นและความจุจะลดลงด้วยการเพิ่มความถี่ ที่ 45% RH, ความจุคือ 5.6% ต่ำกว่าที่ 100 KHz กว่า 1.1 KHz การทดสอบเหล่านี้จะดำเนินการแสดงให้เห็นว่าการส่งออกเซ็นเซอร์เป็นอิสระเชิงเส้นของการวัดความถี่และหนึ่งสามารถใช้ความถี่ต่ำกว่า1 MHz หากมีความจำเป็น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

F . การพึ่งพาความถี่การวัด
วัดก่อนหน้านี้ทั้งหมดได้ปฏิบัติที่ความถี่ 1 MHz
ที่ชื่อวัดความถี่ของ
ความจุเครื่องวัด ( hp4280a ) เพื่อตรวจสอบการพึ่งพา
ของการตอบสนองของเซ็นเซอร์บนความถี่ซึ่ง
ความจุอุปกรณ์วัด , 660 - • - อุปกรณ์หนาถูก
ทดสอบที่ 3 ทดสอบความถี่ ( เช่น 1 kHz ,10 kHz และ 100
kHz ) , และผลลัพธ์ที่แสดงในรูปที่ 11 หมายเหตุ การตอบสนองที่เป็นเส้นตรง
แต่ละความถี่ และความจุจะลดลง
มีความถี่เพิ่มขึ้น ที่ 45 เปอร์เซ็นต์ และความจุเป็น 5.6 %
ต่ำกว่า 100 kHz กว่าที่ 1.1 กิโลเฮิร์ทซ์ การทดสอบเหล่านี้จะดำเนินการ
แสดงว่าเซ็นเซอร์ออก เป็นอิสระเชิงเส้นของการวัดความถี่และหนึ่งสามารถใช้

ความถี่ที่ต่ำกว่า1 ) ถ้าต้องการ