Vapour condensation techniques
In the gold-silicon system of Figure 5, at compositions far from the cusp, glasses cannot be formed by melt quenching—even by the rapid splat-quench technique of Figure 4. (This is the reason that the Tg curve of Figure 5 spans only compositions near the cusp.) Amorphous solids can still be prepared by dispensing with the liquid phase completely and constructing a thin solid film in atom-by-atom fashion from the gas phase. Figure 4D shows the simplest of these vapour-condensation techniques. A vapour stream, formed within a vacuum chamber by thermalevaporation of a sample of the material to be deposited, impinges on the surface of a cold substrate. The atoms condense on the cold surface and, under a range of conditions (usually a high rate of deposition and a low substrate temperature), an amorphous solid is formed as a thin film. Pure silicon can be prepared as an amorphous solid in this manner. Variations of the method include using an electron beam to vapourize the source or using the plasma-induced decomposition of a molecular species. The latter technique is used to deposit amorphous silicon from gaseous silane (SiH4). Among the amorphous solids listed in the table, those that normally require vapour-condensation methods for their preparation are silicon (Si), germanium (Ge), water (H2O), and the elemental metallic glasses iron (Fe), cobalt (Co), and bismuth (Bi).
เทคนิคการควบแน่นไอในระบบซิลิคอนทองรูป 5 ที่ประกอบจาก cusp แว่นไม่สามารถเกิดขึ้น โดยละลายชุบ — โดยเทคนิครวดเร็ว splat เทียบดับของรูปที่ 4 (นี่คือเหตุผลว่า Tg โค้งของรูป 5 ครอบคลุมองค์ประกอบเฉพาะใกล้ cusp) ยังสามารถเตรียมของแข็งสัณฐาน โดยจ่ายกับเฟสของเหลวทั้งหมด และสร้างเป็นฟิล์มแข็งบางอะตอมโดยอะตอมแฟชั่นจากเฟสก๊าซ รูป 4D แสดงง่ายที่สุดของเทคนิคเหล่านี้ควบแน่นไอ สตรีมไอ เกิดขึ้นภายในห้องสุญญากาศ โดย thermalevaporation ของตัวอย่างของวัสดุที่จะนำฝาก impinges บนพื้นผิวของพื้นผิวเย็น บีบอะตอมบนพื้นผิวเย็น และ ภายใต้ช่วงของเงื่อนไข (มักจะสูงอัตราการสะสมและอุณหภูมิพื้นผิวต่ำ), แข็งเป็นไปจะเกิดเป็นฟิล์มบาง ซิลิคอนบริสุทธิ์สามารถเตรียมเป็นแข็งเป็นไปในลักษณะนี้ รูปแบบวิธีการรวมที่ใช้ลำแสงอิเล็กตรอน vapourize แหล่งที่มา หรือใช้การย่อยสลายเกิดพลาสมาชนิดโมเลกุล เทคนิคหลังใช้ฝากไปซิลิคอนจากก๊าซ silane (SiH4) ระหว่างของแข็งสัณฐานแสดงในตาราง ที่ปกติต้องใช้วิธีการควบแน่นไอสำหรับการเตรียมตัวคือซิลิคอน (Si), เจอร์เมเนียม (Ge), น้ำ (H2O), และแว่นตาโลหะธาตุเหล็ก (Fe), โคบอลต์ (Co), และบิสมัท (Bi)
การแปล กรุณารอสักครู่..
