The morphology and chemical structure of Parylene F and Parylene N films annealed in air, N2, and vacuum were examined. The decomposition temperatures of Parylene N in air, N2, and vacuum were determined to be 175,350, and 425°C, respectively. The decomposition temperatures of Parylene F in air and N2 were determined to be 400 and 500°C, respectively. For both materials, the decomposition process with and without the presence of O is different. In the case of Parylene N, O diffuses into the materials and reacts with the C in the polymer. In the case of Parylene F, no reaction products with O are observed on the surface. Annealing at the decomposition temperature resulted in the decomposition of -CF2- functional groups to -CF- functional groups in the Parylene F. Thicker films,< μ, of either material cracked during annealing while films 
 
และลักษณะโครงสร้างทางเคมีของ Parylene F และ N หนัง Parylene อบในอากาศ , N2 และสุญญากาศที่ตรวจ อุณหภูมิของการสลายตัว Parylene ในอากาศ , N2 และสุญญากาศที่มุ่งมั่นที่จะเป็น 1 , 425 องศาองศาเซลเซียส ตามลำดับ อุณหภูมิของการสลายตัว Parylene F ในอากาศและ N2 มีความตั้งใจจะ 400 และ 500 ° C ตามลำดับ ทั้งวัสดุส่วนกระบวนการที่มีและไม่มีการปรากฏตัวของโอ มันต่างกัน ในกรณีของ Parylene N , O แพร่กระจายเข้าไปในวัสดุ และตอบสนองกับ C ในพอลิเมอร์ ในกรณีของ Parylene F ไม่มีปฏิกิริยาผลิตภัณฑ์ O จะสังเกตได้บนพื้นผิว อบอ่อนที่อุณหภูมิการสลายตัวส่งผลให้เกิดการย่อยสลาย - cf2 - หมู่ฟังก์ชัน - CF - หมู่ฟังก์ชันใน Parylene Fความหนาฟิล์ม , < μ , ให้วัสดุแตกในระหว่างการอบในขณะที่ภาพยนตร์ < 0.5 μยังคงเรียบและโปร่งใส รูพบใน Parylene F ฟิล์มฝากโดยใช้วิธีการด้านหลังการอบ .
การแปล กรุณารอสักครู่..
