The rotation of the platen will dir

The rotation of the platen will direct the gases across the wafers and out through separate exhausts

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การหมุนของแท่นวางจะนำแก็สผ่านเว และออกผ่านแยกหมดแรง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การหมุนของแผ่นจะนำก๊าซทั่วเวเฟอร์และออกผ่านแยกหลักสี่

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การหมุนของลูกกลิ้งจะส่งก๊าซผ่านเวเฟอร์และออกผ่านแยกเครื่องจักร