From the slices prepared using the procedure in §2.1, discs (Fig.1d) with the desired diameter are punched by using a
disc punch or ultrasonic disc cutter. The diameter of the discs depends on the specifications of the TEM specimen
holder (many holders accommodate discs with a diameter of 3 mm). The discs are then mechanically lapped/polished
to about 100-120 μm thickness using grinding media (such as SiC, Al2O3, Al2O3-Fe3O4, or diamond). Emery paper
(silicon carbide grinding paper) is cheaper and available with different grit numbers (such as grit No. 320, 600 and
1200). The grit number represents the roughness of the paper; the roughness increases with decreasing grit number.
Diamond lapping film is available with different particle size (30-0.5 μm range), however it is expensive. The grinding medium should be chosen according to the hardness of the specimen. For example, silicon carbide grinding paper can
be used for aluminium alloys whereas it is unsuitable for sapphire.
Initially, the lapping is performed with coarser paper (viz., grit no.320) in order to reduce the thickness and also to
get nearly parallel surfaces. For relatively softer material, the polishing can be started with grit # 600. For harder
materials, coarser grits are used followed by final polishing on finer grits (grit no.600, 1200). To improve the surface
finish, a polishing cloth is taken and diamond paste (particle size of ~ 3 μm) along with few drops of lubrication oil is
spread on it. Then the discs are polished on this cloth for about 10 minutes for improving the surface finish.
During initial polishing, the surface layer, which could have deformed during slicing, is removed. In this stage,
scratches are formed on the surface, and these scratches are minimised during the subsequent polishing on finer grits.
Lapping along a constant direction results in scratches, which may be difficult to remove if lapping is continued along
the same direction. Hence, the direction of polishing should be changed continuously so as to minimize the scratches. For polishing, it is beneficial to use a disc grinder (for example, Gatan disc grinder, Model 623) as it offers the
removal of material with good control (viz., in steps of 10 μm). Alternatively, hand polishing can be performed by
covering the fingers with a double-sided adhesive tape. This is helpful in avoiding injury to fingers. In the final stages
of polishing, the discs are carefully removed from the tape without bending or buckling. The final polishing is
performed without tape. Since the disc is thin, it can bend while debonding due to adhesion if a tape is used.
Otherwise, an used-tape with weak adhesion can be used.
จากชิ้นเตรียมไว้ใช้ในขั้นตอน§ 2.1 ดิสก์ ( fig.1d ) ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางที่ต้องการเจาะโดยดิสก์หรือดิสก์เครื่องเจาะตัด เส้นผ่าศูนย์กลางของแผ่นขึ้นอยู่กับคุณสมบัติของตัวเต็มๆยึด ( รองรับผู้ถือหลายแผ่น มีเส้นผ่าศูนย์กลาง 3 มิลลิเมตร ) ดิสก์เป็นแล้วการตัด / ขัดเงาประมาณ 100-120 μเมตรความหนาโดยใช้สื่อบด ( เช่น Sic , Al2O3 al2o3-fe3o4 , หรือเพชร ) กระดาษกากกะรุน( ซิลิคอนคาร์ไบด์บดกระดาษ ) มีราคาถูกและใช้ได้กับตัวเลขมานะที่แตกต่างกัน ( เช่นกรวดไม่ 320 , 600 และ1200 ) อิฐเลขที่แสดงถึงความหยาบของกระดาษ ความขรุขระ เพิ่มลดมานะ จํานวนเพชรขัดภาพยนตร์สามารถใช้ได้กับขนาดอนุภาคที่แตกต่างกัน ( 30-0.5 μ M ช่วง ) แต่มันแพง บดปานกลาง ควรเลือกตามความแข็งของชิ้นงาน ตัวอย่างเช่น ซิลิคอนคาร์ไบด์บดกระดาษใช้ในโลหะผสมอลูมิเนียมและมันไม่เหมาะสมกับไพลินเริ่มต้น คือ การห่อหุ้มด้วยกระดาษหยาบ ได้แก่ มานะ no.320 ) เพื่อลดความหนาและยังทำให้พื้นผิวเกือบขนาน สำหรับวัสดุที่ค่อนข้างนุ่ม , ขัดสามารถเริ่มต้นด้วยกรวด # 600 สำหรับ ยากวัสดุ coarser ปลายข้าวจะใช้ตามด้วยขัดขั้นสุดท้ายบนกรวด ( กรวดละเอียด no.600 1200 ) การปรับปรุงพื้นผิวเสร็จสิ้น , ผ้าขัดตัวและเพชรวาง ( ขนาดอนุภาคของ ~ 3 μ M ) พร้อมกับหยดของน้ำมันคือกระจายบน แล้วแผ่นขัด ผ้านี้ประมาณ 10 นาทีเพื่อการปรับปรุงพื้นผิวเสร็จสิ้นระหว่างการขัดครั้งแรก ชั้นผิว ซึ่งอาจจะพิการใน slicing , ลบออก ในขั้นตอนนี้รอยขีดข่วนที่เกิดขึ้นบนพื้นผิว และรอยขีดข่วนเหล่านี้จะลดลงในช่วงการขัดตามมาในปลีกย่อยบดซัดไปตามทิศทางคงที่จากรอยขีดข่วน , ซึ่งอาจเป็นเรื่องยากที่จะลบ ถ้ากระทบต่อพร้อมทิศทางเดียวกัน ดังนั้น ทิศทางของการขัดควรเปลี่ยนแปลงอย่างต่อเนื่องเพื่อลดรอยขีดข่วน ขัดมันเป็นประโยชน์ที่จะใช้เครื่องบด Disc ( ตัวอย่างเช่น gatan ดิสก์เครื่องบดรุ่น 623 ) มันมีการกำจัดของวัสดุที่มีการควบคุมที่ดี ( viz . ในขั้นตอนที่ 10 μ M ) อีกวิธีหนึ่งคือ การขัดมือสามารถดำเนินการโดยครอบคลุมนิ้วกับสองหน้า เทปกาว นี้จะเป็นประโยชน์ในการหลีกเลี่ยงการบาดเจ็บนิ้วมือ ในขั้นตอนสุดท้ายขัด , แผ่นลบออกอย่างระมัดระวังจากเทปโดยไม่ต้องดัดหรืองอ . การขัดขั้นสุดท้ายคือดำเนินการโดยไม่มีเทป เนื่องจากแผ่นบาง สามารถโค้งงอขณะที่การหลุดล่อนเนื่องจากการยึดติดว่าเทปที่ใช้มิฉะนั้น การใช้เทปกาวอ่อนๆ สามารถใช้เป็น
การแปล กรุณารอสักครู่..
