The hardness, elastic modulus, H/E

The hardness, elastic modulus, H/E and H3/E2 of the CrCN coatings are shown in Fig. 6. The hardness, H/E and H3/E2 show a similar tendency with respect to the C2H2 flow rates. The hardness first increases to 32 GPa at 10 sccm and then decreases to 22 GPa at 30 sccm. Meanwhile, the elastic modulus, H/E and H3/E2 reach a maximum value at 10 sccm. It is obvious that the hardness of CrCN coating is higher than that of CrN coating. This is due to the high content of Cr–C and sp3 bonds in CrCN coatings. Wang [40] pointed out that the hardness of coatings was closely related with sp3 fraction i.e. higher sp3 fraction, higher hardness. Tong [20]
indicated that the increase of hardness with respect to carbon content is attributed to the solid solution hardening effect of carbon atoms. Meanwhile, Lim [41] and Jung [42] found that the
hardness increased with decreasing grain size. Thus, when the C2H2 flow rate increased to 10 sccm, the hardness of coating is the highest. As is known, the H/E or H3/E2 ratios relate to the durability and plastic deformation resistance of the coatings, respectively,
which provide close correlation with relative wear resistance [43]. As seen in Fig. 6, the CrCN coating deposited at 10 sccm shows the highest H/E and H3/E2 ratio, which has the excellent mechanical and tribological properties.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความแข็งโมดูลัสยืดหยุ่น H / E และ H3 / E2 ของเคลือบ CrCN จะแสดงในรูป 6. ความแข็ง H / E และ H3 / E2 แสดงแนวโน้มที่คล้ายกันด้วยความเคารพต่ออัตราการไหลของ C2H2 ความแข็งเป็นครั้งแรกเพิ่มขึ้นถึง 32 GPa ที่ 10 SCCM และจากนั้นลดลงถึง 22 จีพีวันที่ 30 SCCM ในขณะที่โมดูลัสยืดหยุ่น H / E และ H3 / E2 ถึงค่าสูงสุดอยู่ที่ 10 SCCM เป็นที่ชัดเจนว่ามีความแข็งของการเคลือบ CrCN สูงกว่าที่ของการเคลือบ CRN นี่คือสาเหตุที่เนื้อหาสูงของ Cr-C และพันธบัตร SP3 ในการเคลือบ CrCN วัง [40] ชี้ให้เห็นว่ามีความแข็งของไม้แปรรูปที่เกี่ยวข้องอย่างใกล้ชิดกับ SP3 ส่วนคือ SP3 ส่วนสูงความแข็งสูง ตอง [20]
ชี้ให้เห็นว่าการเพิ่มขึ้นของความแข็งที่เกี่ยวกับปริมาณคาร์บอนที่เป็นโทษกับวิธีการแก้ปัญหาที่เป็นของแข็งแข็งผลของอะตอมของคาร์บอน ในขณะเดียวกันลิม [41] และจุง [42] พบว่ามี
ความแข็งเพิ่มขึ้นด้วยขนาดของเมล็ดข้าวลดลง ดังนั้นเมื่ออัตราการไหลของ C2H2 เพิ่มขึ้นถึง 10 SCCM ความแข็งของสารเคลือบผิวที่สูงที่สุด เป็นที่รู้จักกันความ H / E หรืออัตราส่วน H3 / E2 เกี่ยวข้องกับความทนทานและพลาสติกต้านทานผิดปกติของสารเคลือบตามลำดับ
ซึ่งจะให้ความสัมพันธ์ใกล้ชิดกับความต้านทานการสึกหรอญาติ [43] เท่าที่เห็นในรูป 6, เคลือบ CrCN ฝากที่ 10 แสดงให้เห็น SCCM สูงสุด H / E และอัตรา H3 / E2 ซึ่งมีสมบัติเชิงกลที่ดีเยี่ยมและ tribological

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ความแข็ง , โมดูลัสยืดหยุ่น , H / E และ H3 / E2 ของ crcn เคลือบจะถูกแสดงในรูปที่ 6 ความแข็ง , H / E และ H3 / E2 แสดงแนวโน้มที่คล้ายกันที่มีต่ออัตราการไหล c2h2 . ความแข็งแรกเพิ่มเป็น 32 คะแนน 10 sccm แล้วลดลง 22 เกรดเฉลี่ยที่ 30 sccm . ในขณะเดียวกัน , โมดูลัสยืดหยุ่น , H / E และ H3 / E2 ถึงมูลค่าสูงสุด 10 sccm . มันชัดเจนว่า ความแข็งของผิวเคลือบ crcn สูงกว่าการเคลือบ CRN . เนื่องจากเนื้อหาสูงของ CR - C และพันธบัตร่ในการเคลือบ crcn . วัง [ 40 ] ชี้ว่า ความแข็งของผิวเคลือบมีความสัมพันธ์อย่างใกล้ชิดกับ SP3 เศษส่วนเช่นสูงกว่า SP3 เศษส่วน สูงกว่า ความแข็ง ตอง [ 20 ]พบว่า การเพิ่มขึ้นของความกระด้างส่วนปริมาณคาร์บอนจากสารละลายของแข็งแข็งผลของคาร์บอนอะตอม ขณะเดียวกัน ลิม [ 41 ] จอง [ 42 ] พบว่าความกระด้างเพิ่มขึ้นเม็ดขนาด ดังนั้น เมื่ออัตราการไหลเพิ่มขึ้น c2h2 10 sccm , ความแข็งของผิวเคลือบ เป็นสูงสุด เป็นเป็นที่รู้จักกัน , H / E หรือ H3 / E2 และอัตราส่วนที่เกี่ยวข้องกับความทนทานและความต้านทานของการเสียรูปพลาสติกเคลือบ ตามลำดับซึ่งมีความสัมพันธ์กับญาติใกล้ชิด ต้านทานการสึกหรอ [ 43 ] ตามที่เห็นในรูปที่ 6 , crcn เคลือบฝากไว้ที่ 10 sccm แสดงสูงสุด H / E และ H3 / E2 ) ซึ่งมี tribological ยอดเยี่ยมเชิงกลและคุณสมบัติ