at inlet and the pumping rate at ou

at inlet and the pumping rate at outlet, in this modeling, we apply a time dependent pressure, 1 Torr+ PTMA/PH2O, as the inlet bound- ary and 0.9 Torr as the outlet boundary. For the precursor pulses, the partial pressure of the applied TMA pulse (PTMA) is set at 15% of the system pressure according to the experiment setting (0.15Torr), while the partial pressure of H2O pulse, PH2O, is set two times larger than that of TMA (0.3 Torr). This is because each TMAmoleculetheoreticallyneedstoreactwithtwoH2Omolecules to form stable film composition R3 and R4 [4]. According to the experiment, the purging process by inert gas takes 10 s between two precursor pulses, where each pulse takes 0.02 s. In the begin- ning of the ALD process, the substrate surface is assumed to be hydroxylated and well prepared after the treatment of the first water vapor pulse, where the initial surface coverage of hydroxyl groups are assumed to be 80% [19,20]. Our modeling study of TMA+ H2O cycling treatment will start from the first TMA pulse in the firstcycle. The surfacereaction ratesare referred fromTravis et al. [13,14], which are calculated based on the equilibrium rela- tionship between the adsorbed adduct and the surface reaction transition states. The related operating parameters are character- ized in Table 1, and the parameter definitions are listed in the nomenclature.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ที่ทางเข้าของและอัตราการสูบที่เต้าเสียบ ในโมเดลนี้ เราใช้ขึ้นอยู่กับความกดดันเวลา 1 ธอร์ + PTMA/PH2O เป็นทางเข้าของผูก-ary และธอร์ 0.9 เป็นขอบที่ร้าน การกะพริบสารตั้งต้น ความดันบางส่วนของ TMA ใช้ชีพจร (PTMA) ตั้ง 15% ของแรงดันระบบตามการตั้งค่าการทดลอง (0.15Torr), ในขณะที่ความดันบางส่วนของ H2O ชีพจร PH2O ตั้งสองครั้งมีขนาดใหญ่กว่าของ TMA (0.3 ธอร์) ทั้งนี้เนื่องจากแต่ละ TMAmoleculetheoreticallyneedstoreactwithtwoH2Omolecules ฟอร์มมั่นคงองค์ประกอบ film R3 และ R4 [4] ตามการทดลอง การล้างกระบวนการ โดยก๊าซเฉื่อยใช้เวลา 10 s ระหว่างกะพริบสารตั้งต้นสอง ที่ชีพจรแต่ละใช้ 0.02 s การเริ่มต้นหนิงการ ALD สันนิษฐานพื้นผิวพื้นผิว hydroxylated และเตรียมความพร้อมหลังจากการรักษา first ไอน้ำแบบหมุน ที่คลุมผิวเริ่มต้นกลุ่มไฮดรอกซิลจะถือว่า 80% [19,20] ศึกษาโมเดลของ TMA + H2O ขี่รักษาจะเริ่มจากชีพจร TMA first ใน firstcycle Surfacereaction เรียกว่า ratesare fromTravis et al. [13,14], ซึ่งจะถูกคำนวณตาม rela-tionship สมดุลระหว่าง adsorbed adduct และอเมริกาเปลี่ยนปฏิกิริยาผิว พารามิเตอร์การปฏิบัติงานที่เกี่ยวข้องมีอักขระ-ized ในตารางที่ 1 และ definitions พารามิเตอร์ที่อยู่ในระบบการตั้งชื่อ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ที่ทางเข้าและอัตราการสูบน้ำที่ร้านในการสร้างแบบจำลองนี้เราใช้เวลาความดันขึ้นอยู่กับ 1 Torr + PTMA / PH2O เป็นทางเข้า bound- Ary และ 0.9 Torr เป็นเขตแดนเต้าเสียบ สำหรับคลื่นปูชนียบุคคลความดันบางส่วนของชีพจร TMA ใช้ (PTMA) ตั้งไว้ที่ 15% ของความดันระบบตามการตั้งค่าการทดลอง (0.15Torr) ในขณะที่ความดันบางส่วนของ H2O ชีพจร PH2O เป็นชุดสองครั้งใหญ่ กว่าของ TMA (0.3 Torr) นี้เป็นเพราะแต่ละ TMAmoleculetheoreticallyneedstoreactwithtwoH2Omolecules ในรูปแบบองค์ประกอบ Fi LM มั่นคง R3 และ R4 [4] จากการทดลองขั้นตอนการกวาดล้างโดยก๊าซเฉื่อยใช้เวลา 10 วินาทีระหว่างสองคลื่นปูชนียบุคคลซึ่งแต่ละพัลส์ใช้เวลา 0.02 S ใน begin- หนิงของกระบวนการมรกต, พื้นผิวจะถือว่า hydroxylated และเป็นที่จัดทำขึ้นหลังการรักษาของชีพจร Fi แรกไอน้ำที่พื้นผิวการเริ่มต้นของกลุ่มมักซ์พลังค์จะถือว่าเป็น 80% [19,20] . การศึกษาการสร้างแบบจำลองของเราในการรักษาขี่จักรยาน TMA + H2O จะเริ่มต้นจากสายแรกชีพจร TMA ใน rstcycle Fi ratesare surfacereaction เรียก fromTravis และคณะ [13,14] ซึ่งคำนวณจากสมดุล tionship สัมพันธ์ระหว่างดึงเข้าหาดูดซับและปฏิกิริยาของพื้นผิวรัฐเปลี่ยนแปลง พารามิเตอร์ปฏิบัติการที่เกี่ยวข้องตัวอักษร ized ในตารางที่ 1 และพารามิเตอร์เด nitions Fi มีการระบุไว้ในระบบการตั้งชื่อ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ที่ปากน้ำและอัตราการสูบน้ำที่ร้าน ในโมเดลนี้ เราใช้เวลาอยู่กับความดัน 1 ทอร์ ptma / ph2o เป็นปากน้ำจำกัด - Ary และ 0.9 ทอร์เป็นเต้าเสียบ ขอบ สำหรับสารตั้งต้นชีพจร ความดันชีพจร ( ใช้บางส่วนของลูกค้า ptma ) ตั้งไว้ที่ 15% ของความดันตามการทดลองการตั้งค่า ( 0.15torr ) ในขณะที่บางส่วนของความดันชีพจร ph2o H2O ,เป็นชุดที่มีขนาดใหญ่กว่าของ TMA 2 ครั้ง ( 0.3 ทอร์ ) นี้เป็นเพราะแต่ละ tmamoleculetheoreticallyneedstoreactwithtwoh2omolecules ฟอร์มมั่นคงจึง LM และองค์ประกอบ R3 R4 [ 4 ] จากการทดลองกระบวนการชำระล้างด้วยก๊าซเฉื่อยใช้เวลา 10 วินาที ระหว่างสองเครื่องแสดงกะพริบ ซึ่งแต่ละคลื่นใช้เวลา 0.02 วินาที ในการเริ่มต้นของกระบวนการ ald - หนิง ,พื้นผิวพื้นผิวจะถือว่าเป็น hydroxylated เตรียมตัวอย่างดี และหลังการรักษาของจึงตัดสินใจเดินทางไอน้ำชีพจรที่เริ่มต้นพื้นผิวที่ครอบคลุมของกลุ่มไฮดรอกซิลจะถือว่าเป็น 80% [ 19,20 ] ของเราการศึกษาแบบจำลองของ TMA H2O จักรยาน การรักษาจะเริ่มจากการจึงตัดสินใจเดินทาง TMA ชีพจรในจึง rstcycle . การ surfacereaction ratesare เรียกว่า fromtravis et al . [ 13,14 ]ซึ่งจะคำนวณบนพื้นฐานของความสมดุลจริง - ความสัมพันธ์ระหว่างปุ่มตัวเลือกและพื้นผิวดูดซับปฏิกิริยาเปลี่ยนอเมริกา พารามิเตอร์ปฏิบัติการที่เกี่ยวข้องมีตัวละคร - ized ในรางที่ 1 และพารามิเตอร์ เดอ จึง nitions อยู่ในระบบการตั้งชื่อ