The pressure sensitive diaphragm of

The pressure sensitive diaphragm of these capacitive absolute pressure
sensors is made of Al2O3 ceramics.
The term “capacitive measurement” means that a plate capacitor is created by the diaphragm with a fixed electrode behind the diaphragm. When the distance between the two plates of this
capacitor changes, a change in capacitance will result. This change, which is proportional to the pressure, is then converted into a corresponding electrical measurement signal. Here too, an
evacuated reference chamber serves as the reference for the pressure measurements. With capacitance gauges it is possible to accurately measure pressures from 10-5 mbar/Torr to well
above atmospheric pressure, whereby different capacitance gauges having diaphragms of different thickness (and therefore sensitivity) will have to be used.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความดันไดอะแฟรมที่มีความสำคัญของความดันสัมบูรณ์ capacitive
เหล่านี้เซ็นเซอร์ที่ทำจากเซรามิกAl2O3.
คำว่า "วัด capacitive" หมายความว่าตัวเก็บประจุจานถูกสร้างขึ้นโดยไดอะแฟรมที่มีขั้วไฟฟ้าคงที่อยู่เบื้องหลังไดอะแฟรม เมื่อระยะห่างระหว่างแผ่นเปลือกโลกสองแผ่นนี้เปลี่ยนแปลงตัวเก็บประจุ, การเปลี่ยนแปลงในความจุที่จะส่งผล
การเปลี่ยนแปลงนี้ซึ่งเป็นสัดส่วนกับความดันจะถูกแปลงแล้วเป็นสัญญาณไฟฟ้าวัดที่สอดคล้องกัน ที่นี่ด้วยเป็นห้องอ้างอิงอพยพทำหน้าที่เป็นข้อมูลอ้างอิงสำหรับการวัดความดัน
ด้วยเครื่องวัดความจุเป็นไปได้ที่แม่นยำในการวัดแรงกดดัน 10-5 เอ็มบาร์ / Torr
จะดีเหนือความดันบรรยากาศโดยมาตรวัดความจุที่แตกต่างกันมีไดอะแฟรมของความหนาที่แตกต่างกัน(และมีความไว) จะต้องนำมาใช้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ความดันไดอะแฟรมที่ละเอียดอ่อนเหล่านี้ capacitive เซ็นเซอร์ความดันสัมบูรณ์คือทำจากอะลูมิเนียมเซรามิค
.
คำว่า " การวัด " capacitive หมายความว่าแผ่นตัวเก็บประจุจะถูกสร้างขึ้นโดยไดอะแฟรมกับซ่อมไฟฟ้าหลังไดอะแฟรม เมื่อระยะห่างระหว่างสองแผ่นตัวเก็บประจุนี้
การเปลี่ยนแปลง การเปลี่ยนแปลงในความจุจะส่งผล การเปลี่ยนแปลงนี้ซึ่งเป็นสัดส่วนกับความดัน แล้วแปลงเป็นสัญญาณ การวัดทางไฟฟ้าที่สอดคล้องกัน ที่นี่ก็มีห้องอ้างอิง
อพยพทำหน้าที่เป็นข้อมูลอ้างอิงสำหรับความดัน การวัด กับความจุเกจมันเป็นไปได้ที่จะทำการวัดความดันจาก 10-5 มิลลิบาร์ / ทอร์ดี
สูงกว่าความดันบรรยากาศซึ่งมีไดอะแฟรมเกจความจุที่แตกต่างกันของความหนาที่แตกต่างกัน ( และดังนั้นความไว ) จะต้องใช้