Ultrasonic sensors that use piezoel

Ultrasonic sensors that use piezoelectric thin films as sensing
elements have been extensively studied for various applications
[5–10]. These devices are usually fabricated on Si wafers using
a standard integrated circuit (IC) process and a micromachining
process.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เซ็นเซอร์อัลตราโซนิกที่ใช้ฟิล์มบาง piezoelectric เป็นการตรวจวัด
องค์ประกอบได้รับการศึกษาอย่างกว้างขวางสำหรับการใช้งานต่างๆ
[5-10] อุปกรณ์เหล่านี้มักจะมีการประดิษฐ์ในศรีเวเฟอร์ใช้
มาตรฐานกระบวนการวงจรรวม (IC) และไมโคร
กระบวนการ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อัลตราโซนิกเซ็นเซอร์ที่ใช้ตรวจวัดเพียโซอิเล็กทริก เป็นฟิล์มบางองค์ประกอบที่ได้รับการศึกษาอย่างกว้างขวางสำหรับโปรแกรมประยุกต์ต่าง ๆ5 ) [ 10 ] อุปกรณ์เหล่านี้มักจะสร้างบนเวเฟอร์ที่ใช้ซิมาตรฐานวงจรรวม ( IC ) กระบวนการและ micromachiningกระบวนการ