Air-bearing surface (ABS) is an imp

Air-bearing surface (ABS) is an important part on a slider head that can make a slider fly over the disk media which is composed of suitable patterns and etched steps.
The various ABS are designed for controlling a variable amount of a positive pressure which generate a force to push the slider away from disk and negative pressure which generate a force to pull the sliders towards the disk when there is a balance between a push force and a pull force on slider head it will keep the slider head fly with a certain distance over the disk so that to perform “read” and “write” functions.
In order to create ABS on sliders, lithography process and dry etching process are required. A General lithography process of the slider fabrication is following these processes sequence;
1.) Laminated dry film (polymer base material) on Al2O3-TiC (or known in the industry is AlTiC) substrate and also can use Spin or Spray technique to coat wet (Clariant AZ4620) film on the substrate. Both dry film and wet film are photosensitive material also called “photoresist” or “resist”.
2.) Exposured step, it is the using a light source at a certain wavelength to expose the light onto the photoresist. When photoresist is exposed, it will be changed physical properties. This means, in the same time, some area is not experience with the light (unexposed), it will not be changed its physical properties. Exposed and un-exposed areas are obtained by mask blocking between a light source and a photoresist.
3.) Developed step; when the photoresist is placed in a developer solution after exposured step, it will etch the unexposed area for a dry film and vice versa for the wet film by means it will etch away of the exposed area. At this stage, the part
is ready to use for dry etching process.
4.) Dry etching process, there are two kinds of dry etching that widely to use in the slider fabrication; Ion Beam Etching (IBE) or is known as Ion Milling (IM).
IM use the inert Ar gas as a plasma source. The reactive gas, such as SF6, CF4, H2, Cl2, BCl3 and also mix some
of them together as a plasma source for example CF4/H2 [1, 2], is used for RIE. The etch depth on the ABS for the read and write slider head is generally less than 5

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

พื้นผิวอากาศเรือง (ABS) เป็นส่วนสำคัญบนหัวเลื่อนที่ทำให้แถบเลื่อนบินผ่านสื่อดิสก์ซึ่งประกอบด้วยรูปแบบที่เหมาะสม และขั้นตอนการแกะสลัก ABS ต่าง ๆ ถูกออกแบบมาสำหรับการควบคุมยอดเงินผันแปรของแรงดันบวกที่สร้างแรงผลักดันเลื่อนจากดิสก์ และความดันลบที่สร้างแรงจะดึงเลื่อนไปยังดิสก์เมื่อมีสมดุลระหว่างแรงผลักดันและดึงตัวที่บังคับให้หัวเลื่อนมัน จะให้เลื่อนหัวบิน ด้วยระยะห่างบางผ่านดิสก์เพื่อให้สามารถ "อ่าน" และ "เขียน" ทำงานการสร้างแถบเลื่อน ABS กระบวนการภาพพิมพ์หินและกระบวนการกัดแห้งจำเป็นต้องใช้ ภาพพิมพ์หินทั่วไปกระบวนการของงานเลื่อนเป็นตามลำดับกระบวนการเหล่านี้ 1) แห้งเคลือบฟิล์ม (พอลิเมอร์วัสดุพื้นฐาน) ในรับผลิตกระป๋อง Al2O3 (หรือที่รู้จักในอุตสาหกรรมเป็น AlTiC) พื้นผิว และสามารถใช้เทคนิคหมุนหรือสเปรย์เสื้อเปียก (Clariant AZ4620) ฟิล์มบนพื้นผิว ฟิล์มที่แห้งและเปียกฟิล์มเป็นวัสดุ photosensitive ที่เรียกว่า "photoresist" หรือการ "ต่อต้าน" 2) ขั้นตอน exposured มันเป็นการใช้แสงที่มีความยาวคลื่นบางผึ่งไฟบน photoresist เมื่อสัมผัส photoresist มันจะสามารถเปลี่ยนคุณสมบัติทางกายภาพ นี้หมายความว่า ในเวลาเดียวกัน บางพื้นที่ไม่มีประสบการณ์กับแสง (unexposed), มันจะไม่สามารถเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติทางกายภาพ สัมผัส และไม่สัมผัสจะได้รับ โดยรูปแบบบล็อกระหว่างแหล่งกำเนิดแสงและตัว photoresistขั้นตอน 3) Developed เมื่อ photoresist ที่อยู่ในโซลูชันที่พัฒนาหลังจากขั้นตอน exposured มันจะต้องกัดบริเวณ unexposed ฟิล์มแห้ง และในทางกลับกันสำหรับฟิล์มเปียกด้วยมันจะกัดไปสัมผัสพื้นที่ ในขั้นตอนนี้ ส่วนจะพร้อมใช้งานสำหรับกระบวนการกัดแห้ง 4) แห้งกระบวนการแกะสลัก มีสองประเภทของการแกะสลักที่กันอย่างแพร่หลายเพื่อใช้ในการผลิตเลื่อน แห้ง กัดลำไอออน (IBE) หรือเป็นที่รู้จักกันเป็นไอออนกัด (IM) IM ใช้แก๊ส Ar inert เป็นแหล่งพลาสม่า การปฏิกิริยา แก๊ส SF6, CF4, H2, Cl2, BCl3 และยัง ผสมบางของพวกเขา รวมกันเป็นแหล่งพลาสม่า CF4/H2 [1, 2], ใช้สำหรับ RIE ความลึกของ etch ใน ABS หัวเลื่อนการอ่านและการเขียนโดยทั่วไปจะน้อยกว่า 5