Since the AlN deposition is uniform

Since the AlN deposition is uniform and conformal over thebottom electrode, the conformal deposition of top electrode wasachieved too.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เนื่องจากสะสม AlN ได้สม่ำเสมอ และ conformal มากกว่า thebottom ไฟฟ้า สะสม conformal ของอิเล็กโทรดบน wasachieved เกินไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เนื่องจากการสะสม ALN เป็นชุดและมาตราส่วนมากกว่าขั้ว thebottom สะสมมาตราส่วนของอิเล็กโทรดด้านบน wasachieved เกินไป

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตั้งแต่การเป็น ALN เครื่องแบบและ conformal มากกว่าด้านล่างของขั้วไฟฟ้า การเคลือบ conformal ด้านบน ขั้วไฟฟ้า การทดลองด้วย