The piezoelectric film layer transd

The piezoelectric film layer transducer represents the most efficient method for generating and detecting surface acoustic waves on nonpiezoelectric substrates. ZnO, which has a strong piezoelectric ef feet and can readily be sputtered as an oriented crystalline composite on a wide variety of substrates, is a natural choice as the piezoelectric
rdm layer. This paper summarizes a body of knowledge which has been developed on the characteristics of transducer quality ZnO film layers, and focuses attention on those sputtering parameters and microstructural properties which characterize a superior surface-wave transducer film. Requisite sputtering conditions are high substrate temperatures
(ISO-300·C), modest deposition rates (0.5-1.0 ",m/h), low background vapor pressures «S ",m Hg) and an ultraclean vacuum
system. Transducer quality surface-wave films are characterized by
their optical clarity, high density, smooth surface, small crystallite size,
and weD-oriented crystaUite axes. Such ZnO films wiD play an important
role in future surface acoustic wave device technology.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

piezoelectric transducer ชั้นภาพยนตร์แสดงให้เห็นถึงวิธีที่มีประสิทธิภาพมากที่สุดสำหรับการสร้างและการตรวจสอบเสียงคลื่นบนพื้นผิวพื้นผิว nonpiezoelectric ซิงค์ออกไซด์ซึ่งมีแรงฟุต piezoelectric EF และสามารถพร้อมจะพ่นเป็นคอมโพสิตผลึกที่มุ่งเน้นเกี่ยวกับความหลากหลายของพื้นผิวที่เป็นทางเลือกที่เป็นธรรมชาติ piezoelectric
ชั้น RDM บทความนี้สรุปองค์ความรู้ที่ได้รับการพัฒนาในลักษณะของชั้นฟิล์มที่มีคุณภาพ transducer ZnO และมุ่งเน้นความสนใจในพารามิเตอร์สปัตเตอร์เหล่านั้นและคุณสมบัติจุลภาคซึ่งลักษณะพื้นผิวที่คลื่นภาพยนตร์แปลงสัญญาณที่เหนือกว่า เงื่อนไขสปัตเตอร์จำเป็นต้องมีอุณหภูมิพื้นผิวสูง
(ISO-300 · C) อัตราการสะสมเจียมเนื้อเจียมตัว (0.5-1.0 "M / เอช) ต่ำพื้นหลังไอแรงกดดัน« S" m Hg) และสูญญากาศ ultraclean
ระบบ คุณภาพ transducer ภาพยนตร์ผิวคลื่นที่โดดเด่นด้วย
ความคมชัดแสงของพวกเขามีความหนาแน่นสูง, พื้นผิวเรียบขนาดผลึกขนาดเล็ก
และพุธที่มุ่งเน้นแกน crystaUite ภาพยนตร์ดังกล่าว ZnO วิดเล่นที่มีความสำคัญ
บทบาทในการพื้นผิวอะคูสติกเทคโนโลยีอุปกรณ์คลื่นในอนาคต

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

transducer piezoelectric ชั้นฟิล์มเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพมากที่สุดสำหรับการสร้างและการตรวจหาคลื่นอะคูสติก nonpiezoelectric พื้นผิวท ซิงค์ออกไซด์ ซึ่งมีแรง piezoelectric EF เท้าและสามารถพร้อมที่จะ sputtered เป็นเชิงผลึกประกอบบนความหลากหลายของพื้นผิวเป็นทางเลือกธรรมชาติเป็นเพียโซอิเล็กทริกชั้น rdm . เอกสารนี้สรุปองค์ความรู้ที่ได้รับการพัฒนาในลักษณะของทรานสดิวเซอร์คุณภาพชั้นฟิล์มซิงค์ออกไซด์ และเน้นความสนใจในผู้ทำงานพารามิเตอร์และโครงสร้างจุลภาคสมบัติซึ่งเป็นลักษณะที่เหนือกว่าทรานสดิวเซอร์คลื่นผิวฟิล์ม เงื่อนไขการสปัตเตอร์ที่จำเป็นคือ อุณหภูมิพื้นผิวสูง( iso-300 ด้วย C ) , อัตราการเจียมเนื้อเจียมตัว ( คาดว่า " m / H ) ต่ำ , พื้นหลังไอความกดดัน« S " m , Hg ) และสะอาดปราศจากเชื้อโรค สูญญากาศระบบ ทรานสดิวเซอร์คลื่นพื้นผิวฟิล์มมีลักษณะคุณภาพความคมชัดของแสง ความหนาแน่น สูง ผิวเรียบ ขนาดผลึกขนาดเล็กแล้ววันพุธที่มุ่งเน้น crystauite แกน ฟิล์มซิงค์ออกไซด์เช่นฮับเล่นที่สำคัญบทบาทในอนาคตพื้นผิวคลื่นอะคูสติกอุปกรณ์เทคโนโลยี