This technology includes adapting s

This technology includes adapting specific microsystem processing procedure to manufacture the microsensor structures on unique and patented semiconductor parts. It makes all the sensor chips (including humidity and temperature sensor) precise and stable sensing of the target physical parameters, for instance, relative humidity, temperature, or mass flow.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เทคโนโลยีนี้มีการปรับขั้นตอนการประมวลผลเฉพาะ microsystem ผลิตโครงสร้าง microsensor ส่วนสารกึ่งตัวนำที่ไม่ซ้ำกัน และจดสิทธิบัตร มันทำให้ทั้งหมดเซ็นเซอร์ชิ (รวมถึงเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิและความชื้น) แม่นยำ และเสถียรตรวจวัดพารามิเตอร์เป้าหมายทางกายภาพ เช่น ความชื้นสัมพัทธ์ อุณหภูมิ หรือไหล

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เทคโนโลยีซึ่งรวมถึงการปรับขั้นตอนการประมวลผลไมโครที่เฉพาะเจาะจงในการผลิตโครงสร้าง microsensor ในส่วนเซมิคอนดักเตอร์ที่ไม่ซ้ำกันและการจดสิทธิบัตร มันทำให้ทุกชิปเซ็นเซอร์ (รวมทั้งความชื้นและเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิ) การตรวจวัดที่แม่นยำและมีเสถียรภาพของพารามิเตอร์ทางกายภาพเป้าหมายเช่นความชื้นสัมพัทธ์อุณหภูมิหรือการไหลของมวล

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เทคโนโลยีนี้มีการปรับกระบวนการผลิต microsensor MICROSYSTEM เฉพาะโครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์และชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ที่จดสิทธิบัตร มันทำให้ชิปเซ็นเซอร์ ( รวมทั้งความชื้นและอุณหภูมิเซ็นเซอร์ ) ที่ชัดเจนและมั่นคง ตรวจจับเป้าหมายของพารามิเตอร์ทางกายภาพ เช่น ความชื้นสัมพัทธ์ อุณหภูมิ หรือการไหลของมวล .