The mass flow supplied through the

The mass flow supplied through the showerhead electrode consists of molecular oxygen (95%) and argon (5%). The most important species for the deposition process to be considered in the feature-scale simulation are the oxygen radicals and ions.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

กระแสมวลชนที่มาผ่านอิเล็กโทรดฝักบัวแบบใช้ประกอบด้วยโมเลกุลออกซิเจน (95%) และอาร์กอน (5%) พันธุ์สำคัญที่สุดสำหรับการสะสมจะเป็นการจำลองลักษณะมาตราส่วนเป็นอนุมูลออกซิเจนและประจุ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การไหลของมวลจัดจำหน่ายผ่านขั้วไฟฟ้าฝักบัวประกอบด้วยโมเลกุลออกซิเจน (95%) และอาร์กอน (5%) สายพันธุ์ที่สำคัญที่สุดสำหรับกระบวนการสะสมที่จะได้รับการพิจารณาในการจำลองที่มีคุณลักษณะที่มีขนาดอนุมูลออกซิเจนและไอออน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

มวลการไหลมาผ่านฝักบัวไฟฟ้าประกอบด้วยโมเลกุลออกซิเจน ( 95% ) และอาร์กอน ( 5% ) สายพันธุ์ที่สำคัญที่สุดสำหรับกระบวนการการพิจารณาในลักษณะแบบจำลองเป็นออกซิเจนอิสระ และไอออน