. Siliconwafer was cleaned in piran

. Silicon
wafer was cleaned in piranha solution (H2SO4/H2O2 = 7:3
v/v) for 3 h at 90 ◦C, and then rinsed with water and acetone
thoroughly.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

. ซิลิกอนแผ่นเวเฟอร์ถูกล้างไวรัสในโซลูชันปลาปิรันยา (กำมะถัน/H2O2 = 7:3v/v) สำหรับ h 3 ที่ 90 ◦C แล้ว rinsed ด้วยน้ำและอะซิโตนอย่างละเอียด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

. ซิลิคอน
เวเฟอร์ได้รับการทำความสะอาดในการแก้ปัญหาปิรันย่า (H2SO4 / H2O2 = 7: 3
v / v) เป็นเวลา 3 ชั่วโมง 90 ◦Cและล้างแล้วด้วยน้ำและอะซีโตน
อย่างทั่วถึง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

. เวเฟอร์ซิลิคอน
สะอาดในตัวโซลูชั่น ( กรดซัลฟิวริก / H2O2 = 7 : 3
v / v ) 3 H ที่ 90 ◦ C และจากนั้นล้างด้วยน้ำและอะซิโตน
อย่างละเอียด