Isotropic etching– Same etch rate i

Isotropic etching
– Same etch rate in all directions
– Lateral etch rate is about the same as vertical etch rate
– Etch rate does not depend upon the orientation of the mask edge
• Anisotropic etching
– Etch rate depends upon orientation to crystalline planes
– Lateral etch rate can be much larger or smaller than vertical etch
rate, depending upon orientation of mask edge to crystalline axes
– Orientation of mask edge and the details of the mask pattern
determine the final etched shape
• Can be very useful for making complex shapes
• Can be very surprising if not carefully thought out
• Only certain “standard” shapes are routinely used

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

กัด isotropic– เหมือนกัดในทุกทิศทาง-ด้านข้างกัดอัตราเป็นเหมือนแนวกัดอัตรา– กัดอัตราไม่ขึ้นอยู่กับการวางแนวของขอบหน้ากาก•กัด anisotropic– กัดอัตราขึ้นอยู่กับแนวการบินผลึก-ด้านข้างกัดอัตราสามารถใหญ่กว่า หรือเล็กกว่าแนวตั้งมากกัดอัตรา ขึ้นอยู่กับแนวของขอบหน้ากากกับแกนผลึก-วางแนวของขอบรูปแบบและรายละเอียดของรูปแบบรูปแบบกำหนดรูปร่างลักขั้นสุดท้าย•เป็นประโยชน์อย่างมากสำหรับการทำรูปร่างที่ซับซ้อน•ได้อย่างน่าแปลกใจมากถ้าไม่ระมัดระวังความคิดออก•เฉพาะบางรูปร่าง "มาตรฐาน" ที่ใช้เป็นประจำ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แกะสลัก isotropic
- อัตราการกัดเหมือนกันในทุกทิศทาง
- อัตราการกัดด้านข้างเป็นเรื่องเดียวกันกับอัตราการกัดแนวตั้ง
-
อัตราการกัดไม่ได้ขึ้นอยู่กับการวางแนวของขอบหน้ากาก•แกะสลักAnisotropic
- อัตราการกัดขึ้นอยู่กับการปรับตัวให้ผลึกเครื่องบิน
- อัตราการกัดด้านข้าง
สามารถจะมีขนาดใหญ่หรือขนาดเล็กกว่ากัดแนวตั้งอัตราขึ้นอยู่กับการวางแนวของขอบหน้ากากแกนผลึก
- ปฐมนิเทศขอบหน้ากากและรายละเอียดของรูปแบบหน้ากากกำหนดรูปสลักสุดท้าย•สามารถจะมีประโยชน์มากสำหรับการทำรูปทรงที่ซับซ้อน•สามารถมากที่น่าแปลกใจหากไม่ได้คิดอย่างออก•เฉพาะบางอย่าง "มาตรฐาน" รูปทรงที่ถูกนำมาใช้เป็นประจำ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตัวเดียวกันกัด กัด
–อัตราการกัดกร่อนในทุกทิศทาง
) อัตราประมาณเดียวกับอัตรา
–แกะสลักกัดแนวตั้งซึ่งไม่ได้ขึ้นอยู่กับการวางแนวของหน้ากากขอบ
-
) อัตราการ Anisotropic แกะสลักขึ้นอยู่กับปฐมนิเทศผลึกเครื่องบิน
–ด้านข้างกัดอัตราจะใหญ่ขึ้น หรือเล็กลงกว่าแนวตั้ง กัด
อัตราขึ้นอยู่กับการวางแนวของขอบหน้ากากผลึกแกน
–ทิศทางของขอบหน้ากาก และ รายละเอียดของรูปแบบ
ตรวจสอบขั้นสุดท้ายสลักรูปร่าง
- จะมีประโยชน์มากสำหรับการทำที่ซับซ้อนรูปร่าง
- สามารถประหลาดใจมากถ้าไม่คิดอย่างรอบคอบออก
- เพียงบาง " มาตรฐาน " รูปร่างตรวจใช้