In the current design, the structur

In the current design, the structure parameters of the initial capacitive sensor and micro-probe are shown in Fig. 3. The dimension of the floating plate, as well as the dimension of springs is designed based on stiffness difference between floating plate and springs. When a probing force is applied to the probing sphere, the probing force causes a tilt or translational motion of the floating plate while the springs experience elastic deformations, so stiffness difference is to keep floating plate rigid enough and springs elastic, besides MEMS process is also an important factor to determine the dimension. The structure parameters of the initial capacitive sensor and micro-probe are shown in Fig. 3 and Table 1.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในการออกแบบปัจจุบัน พารามิเตอร์โครงสร้างไมโครโพรบและเซ็นเซอร์ควบคุมเริ่มต้นจะแสดงใน Fig. 3 ขนาดของแผ่นลอย และขนาดของสปริงถูกออกแบบมาตามความแข็งความแตกต่างระหว่างจานลอยและสปริง เมื่อมีใช้แรง probing ทรงกลม probing แรง probing ทำให้เอียงหรือเคลื่อนไหว translational จานลอยขณะที่สปริงยืดหยุ่น deformations ประสบการณ์เพื่อความแตกต่างความแข็งจะทำให้แผ่นน้ำแข็งพอ และสปริงยืดหยุ่น นอกจาก MEMS กระบวนการเป็นปัจจัยสำคัญในการกำหนดขนาด โครงสร้างพารามิเตอร์เริ่มต้นควบคุมเซ็นเซอร์และไมโครโพรบจะแสดงในตารางที่ 1 และ Fig. 3

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในการออกแบบในปัจจุบันพารามิเตอร์โครงสร้างของเซ็นเซอร์ capacitive เริ่มต้นและไมโครสอบสวนที่มีการแสดงในรูป 3. มิติของแผ่นลอยเช่นเดียวกับมิติของสปริงได้รับการออกแบบบนพื้นฐานของความแตกต่างระหว่างความแข็งแผ่นลอยและน้ำพุ เมื่อแรงละเอียดถูกนำไปใช้ทรงกลมละเอียดแรงละเอียดที่ทำให้เกิดการเคลื่อนไหวเอียงหรือแปลของแผ่นลอยขณะที่น้ำพุสัมผัสพิการยืดหยุ่นดังนั้นความแตกต่างความมั่นคงคือการเก็บแผ่นลอยแข็งพอและสปริงยืดหยุ่นนอกเหนือจากกระบวนการเมมส์ยังเป็น เป็นปัจจัยสำคัญในการกำหนดขนาด พารามิเตอร์โครงสร้างของเซ็นเซอร์ capacitive เริ่มต้นและไมโครสอบสวนจะแสดงในรูป ที่ 3 และตารางที่ 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในการออกแบบปัจจุบันโครงสร้างพารามิเตอร์เริ่มต้นของเซ็นเซอร์ capacitive และไมโครโพรบจะแสดงในรูปที่ 3 ขนาดของจานลอย ตลอดจนมิติสปริงที่ถูกออกแบบมาบนพื้นฐานของความแข็งแรงและความแตกต่างระหว่างลอยจานสปริง เมื่อมีการบังคับใช้กับการแหย่ ทรงกลมโดยการบังคับให้เอียงหรือเคลื่อนไหวแปลของลอยจานในขณะที่สปริงยืดหยุ่นที่มีประสบการณ์ ดังนั้นความแตกต่าง stiffness คือเก็บจานลอยและแข็งพอสปริงยืดหยุ่น นอกจากนี้ MEMS กระบวนการเป็นปัจจัยที่สำคัญในการกำหนดขนาด โครงสร้างพารามิเตอร์เริ่มต้นของเซ็นเซอร์ capacitive และไมโครโพรบจะแสดงในรูปที่ 1 และตารางที่ 1