sputtering with a background pressu

sputtering with a background pressure better than 2  107 Torr.
An Fe50Pt50 alloy target was used for film preparation. The samples
were deposited at room temperature (RT), and then immediately
transferred to a RTA chamber under vacuum for annealing. The
heating ratewas fixed at 40
C/s and the annealing temperature (Ta)
was varied from 450 to 800
C for 0 s. In-plane residual stress of
FePt films was examined by asymmetric sin2j method, which facilitates
residual stress measurement in thin film with strong
texture, based on x-ray diffractometry (XRD) technique [16]. The
grazing incidence angle of x-ray beam was fixed at 3
. Synchrotron
radiation x-ray beam with energy of 8 keV was adopted for examination
of residual stress at beamline 17B at Taiwan Light Source
and beamline 12BM at SPring-8 in Japan. The details regarding to
stress measurement have been reported elsewhere [17]. Chemical
composition of the FePt films was analyzed by inductive coupled
plasma. Crystallographic structure and texture of the samples was
examined by XRD using a Cu Ka radiation. Magnetic properties of
the films were recorded at RT by a vibrating sample magnetometer
(VSM). Prior to VSM measurement, a pulse magnetic field of
~70 kOe was applied on samples to approach their magnetically
saturated states. Microstructure of the samples was observed by
transmission electron microscopy (TEM). Average grain size was
determined by measuring individual grain size in several dark-field
images. Surface chemical property was analyzed by x-ray photoelectron
spectroscopy (XPS) using synchrotron radiation at beamline
24A, Taiwan Light Source.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สปัตเตอร์ มีความดันพื้นหลังดีกว่า 2 10 7 ธอร์เป้าหมายการผสม Fe50Pt50 ถูกใช้สำหรับการเตรียมฟิล์ม ตัวอย่างได้ฝากไว้ที่อุณหภูมิห้อง (RT), และจากนั้นทันทีโอนย้ายไปห้อง RTA ภายใต้สุญญากาศสำหรับหลอม การratewas เครื่องทำความร้อนที่คงที่ที่ 40 C/s และอุณหภูมิการหลอม (ตา)หลากหลายจาก 450 ถึง 800 C สำหรับความเครียดตกค้าง 0 s. ในระนาบของFePt ฟิล์มได้รับการตรวจ โดยวิธี sin2j สมมาตร ซึ่งอำนวยความสะดวกการวัดความเครียดตกค้างในฟิล์มแข็งเนื้อ อิงเทคนิค x-ray diffractometry (XRD) [16] การแก้ไขการแทะเล็มเกิดมุมของลำแสงเอ็กซเรย์ที่ 3 Synchrotronลำแสงเอ็กซเรย์รังสี มีพลังงาน 8 keV นำตรวจสอบความเครียดตกค้างที่ beamline 17B ที่แหล่งแสงไต้หวันและ 12BM beamline 8 ฤดูใบไม้ผลิในญี่ปุ่น รายละเอียดเกี่ยวกับการการวัดความเครียดที่ได้รับรายงานอื่น ๆ [17] สารเคมีองค์ประกอบของภาพยนตร์ FePt ถูกวิเคราะห์ โดยเหนี่ยวนำควบคู่พลาสม่า Crystallographic โครงสร้างและพื้นผิวของตัวอย่างตรวจสอบ โดยใช้รังสี Cu Ka XRD คุณสมบัติแม่เหล็กของมีบันทึกภาพยนตร์ที่ RT โดย magnetometer อย่างการสั่น(VSM) ก่อนวัด VSM สนามแม่เหล็กหมุนของโคเอะ ~ 70 ใช้ในตัวอย่างวิธีการทางแม่เหล็กอเมริกาอิ่มตัว โครงสร้างจุลภาคของตัวอย่างจะถูกตรวจสอบโดยส่งอิเล็กตรอน (TEM) ขนาดเมล็ดเฉลี่ยกำหนด โดยการวัดขนาดเกรนแต่ละในเขตมืดหลายรูปภาพ คุณสมบัติทางเคมีพื้นผิวถูกวิเคราะห์ โดย x-ray photoelectronมิก (XPS) โดยใช้รังสี synchrotron ที่ beamline24A แหล่งกำเนิดแสงของไต้หวัน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สปัตเตอร์ที่มีความดันพื้นหลังที่ดีกว่า 2 หรือไม่? 10? 7 Torr.
Fe50Pt50 เป้าหมายอัลลอยด์ถูกนำมาใช้ในการจัดทำภาพยนตร์ กลุ่มตัวอย่างที่ถูกฝากไว้ที่อุณหภูมิห้อง (RT) และจากนั้นทันทีโอนไปยังห้องRTA ภายใต้สุญญากาศสำหรับการหลอม ratewas ร้อนคงที่ที่ 40 องศาเซลเซียส / วินาทีและอุณหภูมิอบอ่อน (ตา) ได้รับแตกต่างกัน 450-800 องศาเซลเซียส 0 s ในเครื่องบินความเค้นตกค้างของภาพยนตร์ FePt ถูกตรวจสอบโดยวิธี sin2j ไม่สมมาตรซึ่งอำนวยความสะดวกในการตรวจวัดความเครียดตกค้างในฟิล์มบางมีความแข็งแกร่งเนื้อขึ้นอยู่กับมาตรการเลี้ยวเบนรังสีเอ็กซ์(XRD) เทคนิค [16] มุมอุบัติการณ์ทุ่งเลี้ยงสัตว์ของลำแสงเอ็กซ์เรย์คงที่ 3 ?. ซินโครรังสีรังสีเอ็กซเรย์ด้วยพลังงานจาก 8 เคฟถูกนำมาใช้สำหรับการตรวจสอบของความเค้นตกค้างที่beamline 17B ที่แสงไต้หวันที่มาและbeamline 12BM ในฤดูใบไม้ผลิ-8 ในญี่ปุ่น รายละเอียดเกี่ยวกับการที่จะเน้นการวัดที่ได้รับรายงานอื่น ๆ [17] เคมีองค์ประกอบของภาพยนตร์ FePt วิเคราะห์ควบคู่อุปนัยพลาสม่า โครงสร้างผลึกและพื้นผิวของตัวอย่างได้รับการตรวจสอบโดย XRD ใช้รังสีลูกบาศ์กกา คุณสมบัติของแม่เหล็กของภาพยนตร์ที่ถูกบันทึกไว้ใน RT โดยตัวอย่างสั่น magnetometer (VSM) ก่อนที่จะมีการวัด VSM, ชีพจรสนามแม่เหล็กของ~ 70 Koe ถูกนำมาใช้กับตัวอย่างที่จะเข้าใกล้สนามแม่เหล็กของพวกเขารัฐอิ่มตัว จุลภาคของกลุ่มตัวอย่างพบว่าโดยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (TEM) ขนาดเม็ดเฉลี่ยกำหนดโดยการวัดขนาดของเมล็ดข้าวในแต่ละหลายเข้มสนามภาพ พื้นผิวสมบัติทางเคมีวิเคราะห์เอ็กซ์เรย์โฟโตอิเล็กตรอนสเปกโทรสโก (XPS) โดยใช้รังสีซินโครที่ beamline 24A ไต้หวันแหล่งกำเนิดแสง