provided suitable cold traps are fi

provided suitable cold traps are fitted, and such pumps are required for the higher gas loads involved in GSMBE and CBE. A two- or three-stage substrate entry load-lock and preparation chamber isolated by gate valves is used to minimize the exposure of the system to air.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ติดตั้งกับดักเย็นที่เหมาะสม และปั๊มดังกล่าวจำเป็นสำหรับสูงกว่าแก๊สโหลด GSMBE และ CBE สอง หรือสามขั้นพื้นรายการระบบและเตรียมความพร้อมห้องแยก โดยวาล์วประตูจะใช้เพื่อลดแสงของระบบอากาศ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ให้ไว้กับดักเย็นเหมาะจะติดตั้งและเครื่องสูบน้ำดังกล่าวจะต้องใช้ในการโหลดก๊าซที่สูงขึ้นมีส่วนร่วมใน GSMBE และ CBE สองหรือสามขั้นตอนการเข้าสารตั้งต้นในการโหลดล็อคและการจัดเตรียมห้องแยกโดยวาล์วประตูจะใช้ในการลดความเสี่ยงของระบบไปในอากาศ