However, recent developments in magnetron design and the use of high strength rare earth magnets in the magnetic arrays have led to significant further increases in the magnitude of the ion currents drawn at the substrate
อย่างไรก็ตาม การพัฒนาล่าสุดในการออกแบบและการใช้งานของโลหะมีความแข็งแรงสูงแม่เหล็กโลกหายากในอาร์เรย์แม่เหล็กมีไฟ led เพื่อพบการเพิ่มขึ้นในขนาดของไอออนกระแสวาดที่พื้นผิว