In a multiple magnetron system, the

In a multiple magnetron system, the magnetic arrays in adjacent magnetrons can be configured with either identical, or opposite magnetic polarities. In the former case the configuration is described as `mirrored’ and in the latter case `closed field', and both configurations are shown in Fig. 3. In the mirrored case, the field lines are directed towards the chamber walls. Secondary electrons following these lines are lost, resulting in a low plasma density in the substrate region. 

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในระบบแมกหลายอาร์เรย์แม่เหล็กใน magnetrons ที่อยู่ใกล้เคียงสามารถกำหนดค่าที่มีทั้งเหมือนกันหรือตรงข้ามกับขั้วของสนามแม่เหล็ก ในกรณีที่อดีตการตั้งค่าที่จะอธิบายว่า `สะท้อนและในกรณีหลังปิด` ฟิลด์ 'และการกำหนดค่าทั้งสองจะแสดงให้เห็นในภาพ 3 ในกรณีที่มิเรอร์, เส้นสนามโดยตรงต่อผนังห้องอิเล็กตรอนรองต่อไปนี้บรรทัดเหล่านี้จะหายไปส่งผลให้ความหนาแน่นของพลาสม่าต่ำในภูมิภาคพื้นผิว

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในระบบ magnetron หลาย เรย์แม่เหล็กใน magnetrons ติดสามารถกำหนดค่าได้ด้วยเหมือน กัน หรือตรงข้าม กับขั้วแม่เหล็กได้ ในกรณีเดิม ที่ตั้งค่าคอนฟิกนั้นอธิบายไว้ว่าเป็น 'มิเรอร์' และในกรณีหลัง 'ปิดฟิลด์' และตั้งค่าคอนฟิกทั้งสองแสดงใน Fig. 3 ในกรณีทำมิเรอร์ บรรทัดฟิลด์จะถูกนำไปทางผนังห้อง อิเล็กตรอนรองดังต่อไปนี้บรรทัดเหล่านี้จะหายไป ในพลาสมาต่ำหนาแน่นในภูมิภาคพื้นผิว 

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในระบบ magnetron ได้หลายอาเรย์ของแม่เหล็กที่ใน magnetrons อยู่ใกล้จะสามารถกำหนดค่าด้วยเหมือนกันหรืออยู่ทางฝั่งด้านตรงข้ามกับขั้วของแม่เหล็ก ในกรณีที่การตั้งค่าที่ได้อธิบายไว้ที่'กระจก'และในกรณีหลังนี้ที่'ปิด'ฟิลด์และการปรับตั้งค่าทั้งสองจะแสดงอยู่ในรูปที่ 3 . ในกรณีที่สายกระจกฟิลด์ที่จะนำคุณไปสู่ผนังของช่องได้อิเล็กตรอนไปกระทบกับจอรองต่อไปนี้บรรทัดเหล่านี้จะหายไปส่งผลให้ในความหนาแน่นต่ำจอพลาสม่าที่อยู่ในเขตพื้นที่ที่หน้าติดอยู่กับพื้นผิว organic