The term MEMS (microelectromechanic

The term MEMS (microelectromechanical systems) denotes the devices of a micro- and millimeter scale (linear dimensions from 20 μm to several millimeters), which are produced by microfabrication technology. The MEMS devices employ the motion of separate parts that are driven by electric stimuli, or, vice versa, produce electric signals by such a movement or deformation. Besides MEMS, the terms micromachined devices and microsystems technology are used for such devices and their processing. The MEMS devices include miniaturized structures, sensors, actuators, and microelectronics.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

MEMS ระยะ (ไมโครเทคโนโลยี) หมายถึงอุปกรณ์ของไมโครและมิลลิเมตรขนาด (เชิงเส้นมิติจาก 20 ไมครอนถึงหลายมิลลิเมตร), ซึ่งผลิต โดยเทคโนโลยี microfabrication อุปกรณ์ MEMS ใช้การเคลื่อนที่ของชิ้นส่วนที่จะขับเคลื่อน โดยตัวกระตุ้นไฟฟ้า หรือ กลับ ผลิตสัญญาณไฟฟ้า โดยการเคลื่อนไหวหรือเปลี่ยนรูป นอกจาก MEMS เงื่อนไข micromachined อุปกรณ์และเทคโนโลยี microsystems ที่ใช้สำหรับอุปกรณ์ดังกล่าวและการประมวลผล อุปกรณ์ MEMS มีโครงสร้างขนาดเล็ก เซ็นเซอร์ actuators และไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

MEMS สั้น (ไมโครเทคโนโลยี) หมายถึงอุปกรณ์ของไมโครและมิลลิเมตรขนาด (มิติเชิงเส้นจาก 20 ไมครอนไปหลายมิลลิเมตร) ซึ่งมีการผลิตด้วยเทคโนโลยีขนาดเล็ก อุปกรณ์ MEMS จ้างการเคลื่อนไหวของชิ้นส่วนที่แยกต่างหากที่จะขับเคลื่อนด้วยการกระตุ้นไฟฟ้าหรือในทางกลับกันผลิตสัญญาณไฟฟ้าด้วยเช่นการเคลื่อนไหวหรือการเสียรูป นอกจาก MEMS ข้อตกลง micromachined อุปกรณ์และเทคโนโลยี Microsystems จะใช้สำหรับอุปกรณ์ดังกล่าวและการประมวลผลของพวกเขา อุปกรณ์เมมส์รวมถึงโครงสร้างขนาดเล็กเซ็นเซอร์ตัวกระตุ้นและไมโครอิเล็กทรอนิกส์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

คำว่า MEMS ( microelectromechanical ระบบ ) หมายถึงอุปกรณ์ของขนาดเล็กและขนาด ( มิลลิเมตรเส้นมิติจาก 20 μ M หลายมิลลิเมตร ) ซึ่งผลิตโดยรองรับชิ้นงานขนาดเล็กเทคโนโลยี ด้าน MEMS อุปกรณ์จ้างการเคลื่อนไหวของชิ้นส่วนที่แยกต่างหากที่ถูกขับเคลื่อนโดยกระตุ้นไฟฟ้า หรือในทางกลับกัน ผลิตสัญญาณไฟฟ้าดังกล่าวโดยการเคลื่อนไหวหรือการเสียรูป นอกจากนี้ MEMS , ข้อตกลง micromachined อุปกรณ์และเทคโนโลยีส์ที่ใช้สำหรับอุปกรณ์ดังกล่าวและการประมวลผลของพวกเขา ด้าน MEMS อุปกรณ์ประกอบด้วยโครงสร้างขนาดเล็ก เซ็นเซอร์ตัวกระตุ้นและไมโครอิเล็กทรอนิกส์ .