These are the ERs for fresh 25% TMA

These are the ERs for fresh 25% TMAH at 85oC. It varies a lot with the
experimental condition [11, 12], such as the temperature, the concentration, the
agitation, even the neighbor facets [13, 14]. The temperature and concentration
in
uence is well studied [11, 12, 15], but the eects of the neighbor facets is still
an object of research. With the consuming of TMAH during the etching process,
the ER will drop down signicantly after several wafer's etching. In order to get
a better understanding of TMAH etching, I did two experiments. First, using the
wagon wheel mask [15] to get the ER dependence of TMAH etching; second, using
a mask with dierent shapes of openings to determine the rules for TMAH etch

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

มีสกู๊ปสด 25% TMAH ที่ 85oC ความแตกต่างมากกับทดลองสภาพ [11, 12], เช่นอุณหภูมิ ความเข้มข้น การอาการกังวลต่อ แม้บ้านแง่มุม [13, 14] อุณหภูมิและความเข้มข้นในuence มีดีศึกษา [11, 12, 15], แต่ ects อีของแง่มุมบ้านเป็นมีวัตถุประสงค์ของการวิจัย ด้วยการใช้ของ TMAH ในระหว่างกระบวนการกัดER จะหล่นลง signi cantly หลังจากที่แผ่นเวเฟอร์หลายของการแกะสลัก เพื่อให้ได้ความเข้าใจของกัด TMAH ฉันได้ทดลอง ใช้ครั้งแรก การwagon ล้อรูปแบบ [15] ได้อาศัย ER ของแกะสลัก TMAH ที่สอง การใช้รูปแบบกับ di erent ทรงเปิดเพื่อกำหนดกฎสำหรับ TMAH กัด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เหล่านี้เป็น ERs สำหรับสด 25% TMAH ที่ 85oC มันแตกต่างกันมากกับสภาพการทดลอง [11, 12] เช่นอุณหภูมิความเข้มข้นที่กวนแม้แง่มุมของเพื่อนบ้าน[13, 14] อุณหภูมิและความเข้มข้นในuence มีการศึกษาดี [11, 12, 15] แต่อี? ECTS แง่มุมของเพื่อนบ้านยังคงเป็นเป้าหมายของการวิจัย ด้วยการบริโภคของ TMAH ในระหว่างขั้นตอนการแกะสลัก, เอ่อจะลดลงอย่างมีนัยสำคัญลงหลังจากที่แกะสลักหลายเวเฟอร์ของ เพื่อให้ได้รับความเข้าใจที่ดีขึ้นของการแกะสลัก TMAH ผมสองการทดลอง เป็นครั้งแรกโดยใช้หน้ากากล้อเกวียน [15] ที่จะได้รับการพึ่งพา ER ของการแกะสลัก TMAH; ที่สองโดยใช้หน้ากากที่มีดิ? รูปร่างต่างกันของการเปิดเพื่อตรวจสอบกฎระเบียบสำหรับการจำหลัก TMAH

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เหล่านี้เป็น ERS สำหรับ tmah 25% ที่สด 85oc . มันแตกต่างกันมากกับ
เงื่อนไขการทดลอง [ 11 , 12 ] เช่น อุณหภูมิ , ความเข้มข้น ,
กวนแม้แต่แง่มุมเพื่อนบ้าน [ 13 , 14 ) อุณหภูมิ และความเข้มข้น

uence เป็นอย่างดีในการศึกษา [ 11 , 12 , 15 , แต่ E  ผลของเพื่อนบ้าน แง่มุมยัง
วัตถุของการวิจัย กับการบริโภคของ tmah ในระหว่างกระบวนการกัด
,ER จะหล่นลง signi  ลดลงอย่างมีนัยสําคัญเมื่อหลังจากหลายแผ่นเวเฟอร์ของภาพ . เพื่อที่จะได้รับความเข้าใจที่ดีขึ้นของ tmah
ฮิง ผมทำ 2 การทดลอง ก่อนใช้
ล้อเกวียน หน้ากาก [ 15 ] รับเอ้อการพึ่งพาอาศัยกันของ tmah แกะสลัก ประการที่สอง การใช้หน้ากาก กับ ดิ
 erent รูปร่างของเปิดเพื่อกำหนดกฎสำหรับ tmah กัดกร่อน