Experimental results indicate that

Experimental results indicate that with a 0.3 mm spherical probing head and a stylus with length of 2.3 mm, the probing system has a resolution better than 10 nm along axial direction and 25 nm along radial direction during the scanning range of 1 m.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ผลการทดลองบ่งชี้ว่า หัว probing ทรงกลม 0.3 มม.และ stylus มีความยาว 2.3 มม. ระบบ probing มีความละเอียดกว่า 10 nm ตามทิศทางตามแนวแกนและ 25 nm ตามทิศทางรัศมีระหว่างการสแกนช่วง 1 เมตร

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่ามี 0.3 มมหัวละเอียดทรงกลมและสไตลัสที่มีความยาว 2.3 มิลลิเมตรระบบละเอียดมีความละเอียดดีกว่า 10 นาโนเมตรตามทิศทางตามแนวแกนและ 25 นาโนเมตรตามทิศทางรัศมีในระหว่างช่วงการสแกน 1 เมตร

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ผลการทดลอง พบว่า เป็น 0.3 มม. และทรงกลมการแหย่หัวสไตลัสที่มีความยาว 2.3 มม. การเจาะระบบ มีความละเอียดมากกว่า 10 nm ตามแนวแกนทิศทางและ 25 nm ในแนวรัศมีในการสแกนช่วง 1  ม.