An accelerated method for diamond f

An accelerated method for diamond fracture characterization in chemical mechanical planarization processes
was developed and several practice examples were described showing that the accelerated fracture test was appropriate
for differentiating among typical diamond conditioner disks. First, the top ten aggressive diamonds for
each of the three conditioner disks tested were identified and imaged using scanning electron microscopy (SEM).
Next, the three diskswere subjected to a 30-min accelerated fracture test against an aluminumplate on an Araca
APD-800 polisher. SEM images were taken again on the same ten most aggressive diamonds. Even though the
accelerated fracture test was designed to be analogous to conventional pad conditioning, significant changes
to the diamonds could be seen only after 30 min of conditioning. Image analysis demonstrated that diamond
fracture occurred in all three cases, but to very different extents.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

วิธีการเร่งสำหรับลักษณะเพชรแตกหักในกระบวนการ planarization วิศวกรรมเคมี
ได้รับการพัฒนาและการยกตัวอย่างการปฏิบัติหลายคนถูกอธิบายไว้แสดงให้เห็นว่าการทดสอบการแตกหักเร่งที่เหมาะสม
สำหรับความแตกต่างในหมู่ดิสก์ปรับอากาศเพชรทั่วไป ครั้งแรกในสิบอันดับเพชรเชิงรุกสำหรับ
แต่ละสามดิสก์ปรับอากาศผ่านการทดสอบได้รับการระบุและการถ่ายภาพโดยใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน (SEM).
ถัดไปสาม diskswere ยัดเยียดให้ 30 นาทีเร่งการทดสอบการแตกหักกับ aluminumplate บน Araca
APD-800 ผี้ขัด ภาพ SEM ถูกนำอีกครั้งในวันเดียวกันสิบเพชรก้าวร้าวมากที่สุด แม้ว่า
การทดสอบการแตกหักเร่งถูกออกแบบมาให้คล้ายกับเครื่องแผ่นธรรมดาการเปลี่ยนแปลงที่สำคัญ
เพชรอาจจะเห็นเฉพาะหลังจาก 30 นาทีของการปรับอากาศ การวิเคราะห์ภาพแสดงให้เห็นว่าเพชร
แตกหักเกิดขึ้นในกรณีที่ทั้งสาม แต่ขอบเขตที่แตกต่างกันมาก

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

กระบวนการเร่งการแตกแบบเพชรใน planarization เครื่องกล เคมีได้รับการพัฒนาและตัวอย่างการปฏิบัติหลายคนอธิบายแสดงให้เห็นว่าเร่งแตกแบบที่เหมาะสมสำหรับความแตกต่างระหว่างเพชรทั่วไปมีดิสก์ ก่อนสิบเพชรก้าวร้าวแต่ละสามแอร์ดิสก์ทดสอบพบว่าภาพลักษณ์ของการใช้กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด ( SEM )ต่อไป สาม diskswere ต้อง 30 นาที เร่งทดสอบการแตกหักกับ aluminumplate บน aracaapd-800 ขัด . จากภาพถ่ายอีกครั้งบนเดียวกันสิบที่ก้าวร้าวมากที่สุดเพชร ถึงแม้ว่าการเร่งทดสอบถูกออกแบบมาให้คล้ายคลึงกับปรับแผ่นปกติ การเปลี่ยนแปลงอย่างมีนัยสำคัญกับเพชรอาจจะเห็นหลังจาก 30 นาทีของเครื่องปรับอากาศ การวิเคราะห์ภาพที่แสดงให้เห็นว่า เพชรการแตกหักเกิดขึ้นใน 3 คดี แต่เพื่อ extents ที่แตกต่างกันมาก