Using ultrathin polyimide films, a

Using ultrathin polyimide films, a highly sensitive polyimide
humidity sensor has been realized with the highest sensitivity
of 3.4 pF/%RH for thinnest (300 Å) devices. The output of the
devices are very linear with a nonlinearity of less than a few
percent RH. The sensors survive the anodic bonding process
with a very high yield. The stability of the sensor in medium humidity
environments (50%RH) has been evaluated for 10 days
and the sensor is found to drift less than 3%RH during this time
at 37 C. Cycling tests for the sensor show a hysteresis which
is less than 1.75% RH for a 1200 Å device at 37 C and 50%
RH. Scaling the device in area is possible at the expense of reduced
sensitivity

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ใช้ polyimide ฟิล์มบางเฉียบที่มีความไวสูง polyimide
เซ็นเซอร์ความชื้นได้รับรู้ด้วยความไวแสงสูงสุด
3.4 pF /% RH สำหรับบางที่สุด (300) อุปกรณ์ การส่งออกของอุปกรณ์ที่มีการเชิงเส้นมากกับไม่เป็นเชิงเส้นน้อยกว่าไม่กี่เปอร์เซ็นต์RH เซ็นเซอร์อยู่รอดกระบวนการพันธะขั้วบวกที่มีอัตราผลตอบแทนที่สูงมาก ความมั่นคงของเซ็นเซอร์ในที่มีความชื้นปานกลางสภาพแวดล้อม (50% RH) ได้รับการประเมินเป็นเวลา 10 วันและเซ็นเซอร์ที่พบลอยน้อยกว่า3% RH ในช่วงเวลานี้ที่37 การทดสอบซีปั่นจักรยานสำหรับเซ็นเซอร์แสดง hysteresis ซึ่งน้อยกว่า 1.75% RH สำหรับอุปกรณ์ 1200 ที่ 37 องศาเซลเซียสและ 50% RH การปรับอุปกรณ์ในพื้นที่เป็นไปได้ที่ค่าใช้จ่ายของที่ลดลงไว

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ใช้ ultrathin polyimide ฟิล์มความไวสูง polyimide
เซ็นเซอร์ความชื้นได้ตระหนักกับความไวสูงสุด
3.4 PF / ความชื้นสัมพัทธ์สำหรับบางที่สุด ( 300 Å ) อุปกรณ์ การแสดงผลของอุปกรณ์เชิงเส้นกับ
มากค่าน้อยกว่า Rh
กี่เปอร์เซ็น เซ็นเซอร์อยู่รอดกระบวนการเชื่อมการ
ที่มีผลผลิตสูงมาก เสถียรภาพของเซ็นเซอร์
ความชื้นปานกลางสภาพแวดล้อม ( 50 เปอร์เซ็นต์ ) ได้ถูกประเมิน 10 วัน
และเซ็นเซอร์ที่พบจะลอยน้อยกว่า 3 เปอร์เซ็นต์ในช่วงเวลานี้
37 C จักรยานแบบเซ็นเซอร์แสดงแบบที่
น้อยกว่า 1.75 เปอร์เซ็นต์สำหรับอุปกรณ์ 1200 •ที่ 37 องศาเซลเซียสและความชื้นสัมพัทธ์ 50 %
. การอุปกรณ์ในพื้นที่ที่เป็นไปได้ที่ค่าใช้จ่ายลดลง
ไว