กระบวนการดูดซับเกิดขึ้น 3 ขั้นตอน ดังภาพ
ขั้นตอนที่ 1 เป็นการแพร่ของโมเลกุลของก๊าซมลพิษที่ต้องการบำบัดไปยังผิวภายนอกของสารดูดซับ
ขั้นตอนที่ 2 เป็นการเคลื่อนที่ของโมเลกุลของก๊าซมลพิษเข้าสู่รูพรุนของสารดูดซับ ซึ่งการดูดซับส่วนใหญ่เกิดขึ้นในรูพรุนส่วนนี้
ขั้นตอนที่ 3 โมเลกุลของก๊าซมลพิษจะติดที่ผิวภายในรูพรุนของสารดูดซับ โดยเรียงตัวกันเป็นชั้นๆ