The hardness,elastic modulus, and s

The hardness,elastic modulus, and structure of several amorphouscarbonfilms on silicon prepared by cathodic‐arc deposition with substrate pulse biasing have been examined using nanoindentation, energy loss spectroscopy (EELS), and cross‐sectional transmission electron microscopy. EELS analysis shows that the highest sp 3 contents (85%) and densities (3.00 g/cm3) are achieved at incident ion energies of around 120 eV. The hardness and elastic modulus of the films with the highest sp 3 contents are at least 59 and 400 GPa, respectively. These values are conservative lower estimates due to substrate influences on the nanoindentation measurements. The films are predominantly amorphous with a ∼20 nm surface layer which is structurally different and softer than the bulk.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ความแข็ง โมดูลัสความยืดหยุ่น และโครงสร้างของ amorphouscarbonfilms หลายจากซิลิคอนโดยสะสม cathodic‐arc กับพื้นชีพจรให้มีการตรวจสอบโดยใช้ nanoindentation สเปกโทรสโกสูญเสียพลังงาน (ปลาไหล), และ cross‐sectional ส่งชาวดัตช์ วิเคราะห์ปลาไหลแสดงว่า เนื้อหา sp 3 (85%) สูงสุดและความหนาแน่น (3.00 g/cm3) จะประสบความสำเร็จที่เกิดไอออนพลังงานของประมาณ 120 eV ความแข็งและยืดหยุ่นโมดูลัสของฟิล์มกับ sp 3 เนื้อหาสูงที่สุดคือ เกรดเฉลี่ยน้อย 59 และ 400 ตามลำดับ ค่าเหล่านี้จะประมาณการต่ำกว่าอนุรักษ์เนื่องจากอิทธิพลที่มีต่อพื้นผิวการวัด nanoindentation ภาพยนตร์ที่มีส่วนใหญ่ไป ด้วย ∼20 nm ชั้นผิวซึ่งเป็นโครงสร้างที่แตกต่างกัน และเบากว่ากลุ่ม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ความแข็งโมดูลัสยืดหยุ่นและโครงสร้างของหลาย amorphouscarbonfilms ในซิลิกอนจัดทำขึ้นโดยการสะสม cathodic-ARC กับพื้นผิวชีพจรให้น้ำหนักที่ได้รับการตรวจสอบโดยใช้ nanoindentation, การสูญเสียพลังงานสเปกโทรสโก (ปลาไหล) และตัดกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน การวิเคราะห์แสดงให้เห็นว่าปลาไหลสูงสุด SP 3 เนื้อหา (85%) และความหนาแน่น (3.00 g / cm3) จะประสบความสำเร็จในเหตุการณ์ที่เกิดขึ้นไอออนพลังงานประมาณ 120 eV ความแข็งและความโมดูลัสยืดหยุ่นของภาพยนตร์ที่มี SP สูงสุด 3 เนื้อหาอย่างน้อย 59 และ 400 เกรดเฉลี่ยตามลำดับ ค่าเหล่านี้จะต่ำกว่าประมาณการแบบอนุรักษ์นิยมเนื่องจากพื้นผิวที่มีอิทธิพลต่อการวัด nanoindentation ภาพยนตร์ส่วนใหญ่เป็นอสัณฐานกับชั้นผิว ~20 นาโนเมตรซึ่งเป็นโครงสร้างที่แตกต่างกันและนุ่มกว่ากลุ่ม

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โมดูลัสความยืดหยุ่น ความแข็ง และโครงสร้างของหลาย amorphouscarbonfilms ในซิลิคอนที่เตรียมโดยการกัดกร่อน‐อาร์คกับชีพจรขยายพื้นผิวได้รับการตรวจสอบการใช้ nanoindentation สเปกโทรสโกปี , การสูญเสียพลังงาน ( ปลาไหล ) และข้าม‐ตัดส่งกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน . การวิเคราะห์ปลาไหลแสดงว่า SP สูงสุด 3 เนื้อหา ( 85% ) และความหนาแน่น ( 3.00 กรัมต่อลิตร ) มีความเหตุการณ์ไอออนพลังงานประมาณ 120 EV ความแข็งและค่าโมดูลัสยืดหยุ่นของภาพยนตร์กับ SP สูงสุด 3 เนื้อหาอย่างน้อย 59 และ 400 คะแนน ตามลำดับ ค่าเหล่านี้จะต่ำกว่าประมาณการอนุรักษ์นิยมเนื่องจากกระทบพื้นผิวใน nanoindentation การวัด ภาพยนตร์ส่วนใหญ่เป็นอสัณฐานที่มี∼ 20 nm ผิวหน้าซึ่งเป็นโครงสร้างที่แตกต่างกัน และนุ่มกว่ากลุ่ม