pressure signal acquisition has bee

pressure signal acquisition has been greatly
demanded in harsh environment, featuring turbine
engine design, and petroleum exploration, whereas
all of them require the sensor capable of operating at
more than 200 ℃ [1]–[3]. Existing sensors are able
to meet the requirements in the measuring range,
frequency response, and accuracy, while they can
only play roles in some of “moderate” environments
[4], [5]. For now, the pressure sensor application is
still deficient in at least the following two aspects, or
just meets the minimum demands: one is ultra-high
temperature environment, the other is metallic
environment, which causes serious electromagnetic
interference. Currently, pressure sensors applied for
high temperature have been carried out in-depth
research, including silicon on insulator (SOI) high
temperature pressure sensor [6], [7], SiC high
temperature pressure sensor [8], silicon-sapphire
pressure sensor [9], fiber optic pressure sensor [10],
[11], surface acoustic wave (SAW) pressure sensor
[12], [13], and the pressure sensor equivalent to
inductive-capacitive (LC) resonance circuit based
pressure sensor [14]–[16].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แรงดันสัญญาณซื้อได้ถูกมากที่ต้องการในสภาพแวดล้อม มีกังหันโปรแกรมออกแบบ และการสำรวจปิโตรเลียม ขณะที่พวกเขาทั้งหมดต้องใช้เซ็นเซอร์สามารถปฏิบัติงานที่มากกว่า 200 ℃ [1] – [3] เซนเซอร์ที่มีอยู่จะสามารถเพื่อตอบสนองความต้องการในช่วงการวัดตอบสนองความถี่ และความถูกต้อง ในขณะที่พวกเขาสามารถเล่นบทบาทในสภาพแวดล้อม "ระดับปานกลาง"[4], [5] สำหรับตอนนี้ การประยุกต์ใช้เซนเซอร์ความดันเป็นยังขาดที่น้อยที่สุดด้านต่อไปนี้สอง หรือตรงตามความต้องการขั้นต่ำเพียง: สูงสุดคืออุณหภูมิสิ่งแวดล้อม อื่น ๆ ที่เป็นโลหะสิ่งแวดล้อม ซึ่งทำให้ร้ายแรงแม่เหล็กไฟฟ้ารบกวน ในปัจจุบัน เซนเซอร์ความดันที่ใช้สำหรับอุณหภูมิสูงได้ดำเนินการในเชิงลึกวิจัย รวมทั้งซิลิโคนบนฉนวน (ซอย) สูงความดันเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิ [6], [7], SiC สูงเซ็นเซอร์ความดันอุณหภูมิ [8], ซิลิคอนแซฟไฟร์เซ็นเซอร์ความดัน [9], ไฟเบอร์ออปติกเซนเซอร์ [10],[11], เซ็นเซอร์ความดันพื้นผิวคลื่นเสียง (SAW)[12], [13], และเซนเซอร์ความดันเท่ากับวงจรเสียงสะท้อน (LC) อุปนัย capacitive คะแนนเซ็นเซอร์ความดัน [14] – [16]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ซื้อสัญญาณแรงกดดันอย่างมากที่ได้รับการ
เรียกร้องในสภาพแวดล้อมที่รุนแรงเนื้อเรื่องกังหัน
ออกแบบเครื่องยนต์และสำรวจปิโตรเลียมในขณะที่
ทั้งหมดของพวกเขาต้องเซ็นเซอร์ความสามารถในการดำเนินงานที่มี
มากกว่า 200 ℃ [1] - [3] เซ็นเซอร์ที่มีอยู่จะสามารถ
ตอบสนองความต้องการในช่วงการวัดการ
ตอบสนองความถี่และความถูกต้องในขณะที่พวกเขาสามารถ
เล่นเฉพาะบทบาทในบางส่วนของสภาพแวดล้อม "ปานกลาง"
[4] [5] สำหรับตอนนี้แอพลิเคชันเซ็นเซอร์ความดันคือ
ยังขาดอย่างน้อยสองประเด็นต่อไปหรือ
เพียงแค่ตอบสนองความต้องการขั้นต่ำ: หนึ่งสูงพิเศษ
สภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิอื่น ๆ ที่เป็นโลหะ
สภาพแวดล้อมซึ่งเป็นสาเหตุร้ายแรงแม่เหล็กไฟฟ้า
รบกวน ปัจจุบันเซนเซอร์ความดันใช้สำหรับ
อุณหภูมิสูงได้รับการดำเนินการในเชิงลึก
การวิจัยรวมทั้งซิลิกอนบนฉนวนกันความร้อน (ซอย) สูง
เซ็นเซอร์ความดันอุณหภูมิ [6] [7], SiC สูง
เซ็นเซอร์ความดันอุณหภูมิ [8] ซิลิคอนไพลิน
เซ็นเซอร์ความดัน [9] ใยเซ็นเซอร์ความดันแก้วนำแสง [10],
[11], พื้นผิวเซ็นเซอร์อะคูสติกคลื่น (SAW) ความดัน
[12], [13] และเทียบเท่าเซ็นเซอร์ความดันในการ
อุปนัย-capacitive (LC) เสียงสะท้อนวงจรตาม
แรงดันเซ็นเซอร์ [ 14] - [16]