The probing system has a sensitivit

The probing system has a sensitivity of 0.48482 pF/m and 0.12072 pF/m, while nonlinearity of 0.078% and 0.36% during axial approach and radial approach, respectively. So it can be concluded that the probing system proposed can be used for ultra precision 3D measurement of small structures with dimension larger than 0.3 mm and depth down to 2.3 mm. The gap between floating plate and fixed plate is a key factor to influence the sensitivity, it can be improved by optimizing MEMS technique, which is our potential work. Besides, some calibration, such as probing force, zero displacement and temperature calibration, as well as uncertainty and coupling experiment are our future work.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ระบบ probing มีความไวของ pF 0.48482 m และ 0.12072 pF/m ขณะ nonlinearity 0.078% และ 0.36% วิธีแกนและวิธีรัศมี ตามลำดับ ดังนั้น จึงสามารถสรุปได้ว่า สามารถใช้ระบบ probing เสนอสำหรับความแม่นยำรุนแรงประเมิน 3D โครงสร้างขนาดเล็กกับขนาดใหญ่กว่า 0.3 มม.และลึกลงไป 2.3 mm ช่องว่างระหว่างแผ่นน้ำและแผ่นคงเป็นปัจจัยสำคัญของการมีอิทธิพลต่อระดับความลับ สามารถปรับปรุง โดยเพิ่มประสิทธิภาพเทคนิค MEMS ซึ่งเป็นงานของเรามีศักยภาพ นอกจาก เทียบบาง อาศัยแรง ศูนย์แทน และเทียบ เช่นเดียว กับความไม่แน่นอน และ coupling ทดลองจะทำงานในอนาคตของเรา

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ระบบละเอียดมีความไวของ 0.48482 pF / m และ 0.12072 pF / m ในขณะที่ไม่เป็นเชิงเส้นของ 0.078% และ 0.36% ในช่วงวิธีการและแนวทางการแกนรัศมีตามลำดับ ดังนั้นจึงสามารถสรุปได้ว่าระบบละเอียดที่นำเสนอสามารถนำมาใช้สำหรับการตรวจวัดแบบ 3 มิติที่มีความแม่นยำเป็นพิเศษของโครงสร้างขนาดเล็กที่มีมิติที่มีขนาดใหญ่กว่า 0.3 มิลลิเมตรและความลึกลงไป 2.3 มิลลิเมตร ช่องว่างระหว่างแผ่นและแผ่นลอยคงเป็นปัจจัยสำคัญที่มีอิทธิพลต่อความไวที่จะสามารถได้รับการปรับปรุงโดยการเพิ่มประสิทธิภาพเทคนิค MEMS ซึ่งเป็นงานที่มีศักยภาพของเรา นอกจากนี้การสอบเทียบบางอย่างเช่นการแหย่บังคับศูนย์การเคลื่อนที่และการสอบเทียบอุณหภูมิเช่นเดียวกับความไม่แน่นอนของการมีเพศสัมพันธ์และการทดสอบที่มีการทำงานในอนาคตของเรา

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การเจาะระบบ มีความ 0.48482 PF PF / m / m และ 0.12072 ในขณะที่ค่า 0.078 ( 0.36 และรัศมีในแนวทางแกนแบบ ตามลำดับ ดังนั้นจึงสามารถสรุปได้ว่า ระบบการเสนอสามารถใช้ Ultra Precision 3D การวัดโครงสร้างขนาดเล็กที่มีขนาดใหญ่กว่า 0.3 มิลลิเมตร และลึกลงไปที่ 2.3 mm .ช่องว่างระหว่างจานคงจานลอยและเป็นปัจจัยสำคัญที่จะมีผลต่อความไว มันสามารถปรับปรุงโดยการเพิ่มประสิทธิภาพ รวมทั้งเทคนิค ซึ่งเป็นงานที่มีศักยภาพของเรา นอกจากนี้ บางแบบ เช่น การบังคับศูนย์การสอบเทียบอุณหภูมิ ตลอดจนความไม่แน่นอนและการทดสอบการเชื่อมต่องานของเราในอนาคต